结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUA麟 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 TheResearchontheGasSensorBasedonLAPSandNanometerPorousSilicon ZONGXiao-lin，CAIHua，yUHui，WANG Ping。 Biomedical National l BME ，观partmentof Engineering，BiosensorSpecialLaboratory，Keyaboratoryof of、 ＼NationalEducation 310027，China Ministry，ZhejiangUniversity，Hangzhou ， newkindofsensorfor basedonthemethodof addressable Abstract：A test potentiometricsensor(I胭) gas light and silicon iS withtheMicroElectroMechanical porous techniquedeveloped．Combined fortheI胭fabricationandthecharacteristicsofthisldndof new forthedetection niques planar way apparatus。a of released themetabolismofcellsisattainable．Fromsome results，itisshownthat，the gases during primary sensorhad evident tOalcoholundertheroom withsome relativelyresponse gas temperature，along ofsensoris characteristics．Theofthe ofthiskind gradient feasibilitydesign proved． Key detection；sensors；chemical—MEMS words：LAPS；poroussilicon；gas EEACC：7230L 结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究 宗小林，蔡 华，余辉，王 平’ (浙江大学生物传感器国家专业实验室，生物医学工程教育部重点实验室，生物医学工程与仪器科学学院，杭州310027) 摘 要：结合光寻址电位传感器及纳米多孔硅技术研制了一种新型的气体传感器．该传感器结合光寻址电位传感器的微机电系统 工艺和平面器件特点以及纳米多孔硅的高灵敏度特性，对实现进一步细胞代谢气体的检测提供了一种可能的手段．初步实验结果表 明，在室温条件下，该气体传感器对于乙醇气体具有较明显的响应，并具有一定的浓度梯度特性，证明该传感器的设计是可行的． 关键词：LAPS；多孔硅；气体检测；传感器；化学MEMS 中图分类号：11，212．2