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推荐国家技术发明奖项目公示 项目名称 超大型精密仪器装备气/磁阵列隔微振技术与装置 推荐单位 教育部 推荐单位意见： 我单位认真审阅了该项目推荐书及附件材料，确认全部材料真实有效，相 关栏目均符合国家科学技术奖励工作办公室的填写要求。 该项目针对我国大型/超大型高端和尖端超精密仪器与装备制造领域对隔 微振装备的迫切需求，突破了核心技术和工程化关键技术，发明了基于气/磁复 合作用的主动负刚度隔微振方法与装置、基于激光基面参考的隔微振系统测量 调整方法与装置和基于气/磁复合作用的主动负刚度生成方法与装置，研制成功 了超大型精密仪器装备气/磁阵列隔微振装置与系列工程化装备产品。共获得授 权发明专利104 项，其中国际发明专利5 项；制定产品标准3 项。表明项目组 已经完全掌握了核心关键技术和自主知识产权；经中国计量科学研究院测试， 与该技术领域处于领先地位的美国同类技术进行关键指标比较，4 项指标优于 美方，1 项与之相同；经鉴定，其主要技术指标居国际同领域的领先水平。 打破国外技术封锁，已为航天、国防、计量测试、高端仪器装备制造企业 等研制超大型精密仪器装备隔微振装置等共 18 台套，并为相关企业批量生产 大型单体超精密气/磁隔微振装置，解决了上述部门高端超精密装备研制、生产 和使用中的隔微振技术难题，满足了相关企业对高端超精密隔微振装置产品的 需求。量化经济效益1.136 亿元，节约资金3.951 亿元，潜在经济效益巨大。 对照国家技术发明奖授奖条件，推荐该项目申报 2016 年度国家技术发明 奖一等奖。 项目简介： 超大型精密隔微振装置是一类与超大型高端/尖端超精密仪器与装备配套 使用的重大基础性装备，对发展大型高端/尖端仪器装备具有不可替代性。该类 技术非常复杂，难度极大，我国一直不掌握该领域的核心技术。国外只有美、 德等高端和尖端精密装备制造强国掌握该类技术。因涉及国防和尖端装备领 域，国际高端隔微振技术对我国技术封锁。超低频隔微振技术已经成为制约我 国精密仪器与装备制造业向高端和尖端超精密级发展的一个重大技术瓶颈。 本项目针对这一国际性难题，突破系列核心技术和工程化关键技术，具体 发明点如下： （1）发明了一种基于气/磁复合作用的主动负刚度生成方法与装置。其特 点与优点是，在承载超大载荷的同时，可获得超低固有频率特性，解决了大承 载、低固有频率无法兼顾的难题，使单级隔微振系统的垂向固有频率由 2.0Hz 降低至0.5Hz 。 （2 ）发明了一种基于激光基面参考的隔微振系统测量调整方法与装置。 其特点与优点是，可实时准确监测因仪器系统的质量和质心变化引起的超大隔 微振台体六自由度姿态变化与挠性变形；同时可实时调整台体位姿、变形、系 统固有频率和台面振动速度，使之迅速达到最佳状态；位姿调整精度从毫米量 级提高到微米量级，台面速度均方根值从20μm/s 量级降低到2.0μm/s 以下。 （3 ）发明了一种基于全解耦气/磁复合作用的零刚度隔微振方法与装置。 其特点与优点是，可实现了空间微振动的全解耦和准零刚度支撑，并可实现对 负载质量变化和振动冲击的实时重力补偿，解决了大型单体超精密仪器与隔微 振装置的一体化技术问题和高稳定性支撑及高性能隔微振问题，垂向固有频率 达0.5Hz，台面速度均方根值达1.0μm/s 。 研制成功国内第一台超大型精密仪器装备气/磁阵列隔微振装置和系列工 程化装备产品。共获授权发明专利104 项，其中5 项国际发明专利，制定标准 3 项。鉴定委员会认为：“该成果技术复杂、难度极大、创新性强，具有多项自 主知识产权，其主要技术指标居国际同领域的领先水平。” 先后在航天科技集团、国家计量院、船舶重工集团、哈尔滨量具刃具集团 等高端和尖端精密仪器与装备制造领域批量推广应用大型/超大型隔微振装置； 在系列高性能卫星相机的装调和测试、国家级计量标准装置的建立与使用、高 性能惯导平台的研制与生产和大型及超大型高端超精密级仪器与制造装备的 研发与生产中发挥了重大作用。 客观评价： 2012 年12 月22 日，黑龙江省科技厅在北京召开了由哈尔滨工业大学完成 的“超大型精密仪器装备隔微振技术与装置”鉴定会，中国科学院林祥棣院士和 中国计量科学研究院张钟华院士为组长的鉴定委员会认为：“超大型气浮隔微振 装置是一类高端的超大型基础性装备，在支撑大型高端和尖端装备制造发展中 具有不可替代的重大作用。该成果技术复杂、难度极大、创