等离子体增化学气相沉积设备PECVD和微波等离子体化学气相沉积炉WBMW-DLZ3价格.docx

等离子体增强化学气相沉积设备PECVD和微波等离子体化学气相沉积炉WBMW-DLZ3价格标题:等离子体增强化学气相沉积镀膜机PECVD/RIE和小型热蒸发镀膜机EcopiaAP-MTE1参数库号：JX163567 价格：百度搜【润联网】查询主要技术参数：型号/modelWBMW-DLZ3可加热材料 非易燃易爆的任何材料微波频率2.45GHZ±50MHz加热方式纯微波加热最大功率/KW3 (功率可调)最高工作温度/℃1200长期工作温度/℃≤1100温度测试元件微波场专用传感器/红外测温可选控温精度/℃±2（微波场专用传感器）石英管尺寸(外径/内经X长度)/mmφ102/φ92x1000真空系统配置（可选）简单机械泵抽真空和不锈钢法兰；10-1Pa真空用高档机械泵及真空计；10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计；10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计；升温速率(标配) 0～1000℃/min任意设定，可编程、分段加热外型尺寸(长x宽x高)/mm1000′750′1830微波泄漏量/nb标题:精密刻蚀镀膜仪682和等离子体增强化学气相沉积设备PECVD参数库号：JX163570 价格：百度搜【润联网】查询主要技术参数：型号/modelWBMW-QXCJ4可加热材料 非易燃易爆的任何材料微波频率2.45GHZ±50MHz加热方式纯微波加热、传统电加热、混合加热最大功率/KW4