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采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶材对 PLD淀积MgO薄膜的结晶性的影响 Effectsof andSinteredCeramiconthe Metallic MgO Target Mg ofPulsed-Laser Films Crystallinity DepositedMgO 陈同来 李效民 于伟东 张 霞 高相东 CHEN LIXiao-MinYU ZHANGXiaGAO Tong-Lai Wei-Dong Xiang-Dong 中科院上海硅酸盐研究所，国家重点实验室200050 State of PerformanceCeramicsand Microstructures， KeyLaboratoryHigh Superfine InstituteofCeramicsofChinese of 200050 Shanghai AcademySciences，Shanghai 摘 要：本文研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中。采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶对薄膜结晶性的影 响。研究发现，MgO薄膜的结晶性主要受控于村底温度和激光能量密度。通过对比采用金属Mg靶和烧结陶瓷MgO 靶对MgO薄膜结晶性的影响，发现通过添加一层TiN籽晶层可以显著改善薄膜的结晶质量，获得表面具有原子级 平整度的Mgo薄膜。 关键词：脉冲激光淀积MgO薄膜硅衬底R．HEED ofchoiceof of of duringpulsed—laserdepositon Abstract：investigationtargetdependenceMgOfilms’crystallinity films isfoundthat is affectedsubstrate andlaser MgO wascarriedout．It MgOfilms’crystallinitymainly by temperature metallic andsintered onthe also oftheinfluenceof fluence．Bycomparison Mgtarget MgOtarget films’cystalhnity，it found aTiNseed of filmscaIlbe and that，via layer，thecrystallinequalityMgo greatlyimprovedatomically inserting smoothfilmscanbe obtained． MgO successfully words：Pulsed-laser filmsSisubstrateRHEED Key depositionMgo 一、削 罱 随着薄膜制备技术的进步和应用领域的不断拓展，钙钛矿型功能薄膜的基础研究和器件开发得到了迅 速发展，特别是功能薄膜器件与半导体器件的集成技术倍受瞩目。然而，由于钙钛矿型功能薄膜和半导体 (如硅)衬底之间存在着界面扩散、反应和晶格失配等问题，影响了集成技术的发展。诸多研究发现，先在硅 衬底上生长一层缓