摆臂式干涉仪光程差扫描模型及其仿真.pdfVIP

第４５ 卷 第７期 激光与红外 Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．７ ２０１５ 年７ 月 ＬＡＳＥＲ ＆ ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｌｙ， ２０１５ 文章编号２０１５ ·光电技术与系统· 摆臂式干涉仪光程差扫描模型及其仿真 谢运涛 ，张玉钧１ ２ （１电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室，安徽合肥２３００３７； ２中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽合肥２３００３１） 摘 要：为实现摆臂式干涉仪光程差（ＯＰＤ）随时间的线性变化，需要摆臂式干涉仪作变速摆 动。为此，在分析摆臂式干涉仪光程扫描系统组成的基础上，对干涉仪的电气特性进行了研 究，在ｓａｂｅｒ软件中建立了摆臂式干涉仪光程差扫描模型。为验证模型的正确性，将ＰＩＤ 算法 应用到摆臂干涉仪模型仿真中，研究了干涉仪系统的单位阶跃响应，确定了摆臂式干涉仪ＰＩＤ 控制算法的各项参数。仿真结果表明，该模型可用于模拟摆臂式干涉仪光程差扫描过程，能够 为干涉仪扫描控制系统的设计提供参考。 关键词：仿真模型；摆臂式干涉仪；ＰＩＤ 算法；ｓａｂｅｒ软件 中图分类号：ＴＰ３９１９ 文献标识码：Ａ ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１５．０７．０１９ ＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇｍｏｄｅｌｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒａｎｄｉｔｓｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ＸＩＥＹｕｎｔａｏ ，ＺＨＡＮＧＹｕｊｕｎ１ ２ （１ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＰｏｗｅｒＬａｓｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｈｅｆｅｉ２３００３７，Ｃｈｉｎａ； ２ＡｎｈｕｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｈｅｆｅｉ２３００３１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｍａｋｅｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｐａｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｔｏｃｈａｎｇｅｌｉｎｅａｒｌｙｗｉｔｈｔｉｍｅ，ｔｈｅ ｓｗｉｎｇｖｅｌｏｃｉｔｙｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｍｕｓｔｂｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｌｙｖａｒｉｅｄＢａｓｅｄｏｎｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｐａｔｈ ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ（ＯＰＤ）ｓｃａｎｎｉｎｇｓｙｓｔｅｍｗｉｔｈｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ，ｔｈｅｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｔｈｉｓｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ ｔｅｒａｒｅｓｔｕｄｉｅｄ，ａｎｄｔｈｅＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｅｌｏｆｔｈｅｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｉｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｂｙｔｈｅｓａｂｅｒｓｏｆｔｗａｒｅＴｏ ｖｅｒｉｆｙｔｈｅＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｅｌ，ｔｈｅＰＩＤａｌｇｏｒｉｔｈｍｉｓｕｓｅｄｆｏｒｔｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｔｈｉｓｍｏｄｅｌ，ａｎｄｔｈｅＰＩＤｐａ ｒａｍｅｔｅｒｓａｒｅｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｂｙｓｔｕｄｙｉｎｇｔｈｅｕｎｉｔｓｔｅｐｒｅｓｐｏｎｓｅｏｆｔｈｅｓｗｉｎｇａｒｍｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｉｓ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｅｌｗｏｒｋｓｗｅｌｌｉｎｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆｔｈｅＯＰＤｓｃａｎｎｉｎｇ，