- 1、本文档共55页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
国际[国内]半导体硅材料的进展
* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * ? 有关杂质在硅中的挥发 (1)当在真空下生长时,不但要考虑杂质在硅中的分凝效应,而且还要考虑到杂质在硅中的挥发效应。 杂质在硅中的分凝效应用下式表示: …………………………..(1) 杂质在硅中的挥发效应用下式表示: …….…..……………(2) 考虑这两种效应的综合效率,用下式表示: …………….(3) 上列各式中: CS—单晶中的杂质浓度。 CL—液体中的杂质浓度。 CO—最初始的杂质浓度。 k—杂质在硅中的分凝系数。 B—挥发系数。 SL—挥发面积。 VL—溶体体积。 t—挥发时间。 x—固液交接面位置(全长的分数) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 表14. 有关杂质在熔硅中的挥发常数 杂质 P As Sb B Al Ga In Cu Fe Mn E 厘米/秒 10-4 5×10-3 7×10-2 5×10-6 10-4 10-3 5×10-3 5×10-5 2×10-5 2×10-4 t挥发 5小时 5分 0.5分 100小时 5小时 0.5小时 5分 10小时 20小时 2小时 1.表中 t 挥发表示杂质在熔硅中挥发掉大半的时间 (令其体积与表面积之比等于2CM) 2.重掺杂应在气氛中进行 (2)挥发常数。 当杂质浓度很小时,真空下单位时间从熔体中挥发的杂质量。 N=EACL 式中: A 为溶体挥发表面。 CL 是溶体中杂质浓度。 E 是挥发常数。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * ? 有关杂质在硅中的扩散在高温时必须充分考虑杂质在硅中的扩散运动,这个运动可以用扩散方程来表示: ………………………………….(1) 式中:J扩散—扩散流密度,即单位时间通过单位面积的原子数。 —杂质浓度沿x轴梯度。 D —扩散系数。 负号表示杂质扩散向浓度小的方向进行。 扩散系数 D 随温度按指数迅速变化: ……………………..(2) 式中: Do—常数。 R—气体常数。 T—绝对温度。 E—激活能。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 元素 D(在1200℃)(cm2/秒) Do(cm2/秒) E(千卡/克分子) Li ~4×10-5 2.4×10-3 1.9×10-3 2.2×10-3 1.8×104 1.47×104 1.62×104 Cu 8×10-6 5×10-5(在900℃) — — Au 1.3×10-7 1.1×10-3 2.58×104 Zn ~5×10-7 (在1100~1300℃) — — B 4×10-12 10.5 8.5×104 Al 1.5×10-11 3.0×10
您可能关注的文档
- 园地六与胜似亲人过故人庄.ppt
- 团队建设与素养教育2014—4—7.ppt
- 园林建筑的设计实习演示课件.ppt
- 团队领导与协作能力练习的方案.ppt
- 固体发酵种类和固体发酵反应器.ppt
- 国内外产业园区的案例研究.ppt
- 国内手外科进展史与现状.ppt
- 国外一份极COOL的的PPT个人简历模板[resume].ppt
- 国家一般 话水平测试指南.ppt
- 国家一般 话水平智能测试系统测试指南[含音频].ppt
- 护理学相关知识复习测试卷共三套.doc
- 护理学相关知识复习试题含答案(3套).doc
- 2025届高考语文复习:补写句子 课件.pptx
- 气压带和风带对气候的影响(第1课时)(教学设计).docx
- 气压带和风带对气候影响教学设计2024-2025学年高中地理人教版(2019)选择性必修1.docx
- 《故都的秋》课件 2024-2025学年统编版高中语文必修上册.pptx
- 《屈原列传》课件 2024-2025学年统编版高中语文选择性必修中册.pptx
- 《巫溪家乡文化》课件-2024-2025学年高一语文同步备课课件(统编版必修上册).pptx
- 《苏武传》课件 2023-2024学年统编版高中语文选择性必修中册.pptx
- 郑州中控ZKTime8.3 WEB考勤软件培训文档.pptx
文档评论(0)