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基于BioMEMS技术的DNA固相萃取芯片的制备.pdf
第34卷
2006年3月
分析化学(FENXI HUAXUE) 仪器装置与实验技术
CHnese Journal of Analytical Chemistry
第3期
433—436
基于BioMEMS技术的DNA固相萃取芯片的制备
陈 兴 崔大付。 刘长春 蔡浩原
(中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100080)
●
摘要基于BioMEMS技术,制备~种新型的Si.PDMS-玻璃结构的DNA固相萃取微流控芯片。在硅基片上
制备4种固相载体,分析不同载体的性质和制各特点,优选多孔氧化硅作为萃取DNA的周相载体。对比研究
芯片的封装工艺,优选压制法制备PDMS-玻璃盖片,采用粘接技术封装芯片。芯片成功提取老鼠全血中的基
因组DNA,提取效率为23.5×10q g/灿全血,并成功进行PCR反应,达到试剂盒水平。固相萃取微流控芯
片具有与其他样品处理芯片、PCR芯片和电泳芯片相集成的潜力,可实现对复杂生物样品的检测和分析。
关键词BioMEMS技术,固相萃取,微流控芯片,封装技术,多孔氧化硅
1 引 言
随着微电子机械系统(MEMS)技术与生命科学和分析科学等学科的交叉深入研究,BioMEMS技术
以及基于BioMEMS技术的微全分析系统(—AS)得到迅速发展。在DNA分析和疾病检测中,高质量和
足够量的DNA是进行PCR反应、电泳、分离、杂交等检测的前提。但目前DNA扩增、杂交和分离等微
流控芯片的研究较多u《J,而DNA提取微流控芯片的研究较少。因此,对DNA提取芯片的研究已成为
微流控芯片集成化和自动化的关键。基于固相萃取法(SPE)的DNA提取法不但能较好的避免DNA降
解,也易于与其他功能芯片相集成。Tian等蹲1将硅微珠填充在毛细管内,硅微珠作为固相载体成功提
取DNA,实现了SPE法的小型化。Breadmore等?利用Sol—gel把硅珠固定填充到微沟道中,实现从血
液、细菌和病毒样品中提纯DNA。载体填充法具有灵活更换载体的优点,但填充操作复杂,也不易控
制。Cady[81和Christel【91报道了硅微柱阵列式DNA提取微流控芯片,硅微柱作为载体提取DNA,不需填
充载体,但制备工艺要求较高。此外,芯片封装也制约着微流控芯片的发展。已报道SPE芯片H。1采
用硅.玻璃阳极键合实现芯片封装,密封性好,不易漏液,但设备昂贵,键合费时。本实验从固相载体的
选择和芯片封装技术的改进展开研究,通过提取全血DNA评价SPE芯片的性能。
2实验部分
2.1仪器与试剂
AMSl00 SE型深刻蚀机(法国Adixen公司);SB6键合机(德国Karl SUSS公司);ASM型PCVD炉
(美国ASM公司);MA6型曝光机(德国Karl SUSS公司);Alpha—step 500型台阶仪(美国Tencor公司)。
实验所用外周血均取自普通小鼠,肝素抗凝。Sylgard 184型PDMS前体和固化剂购自美国Dow Coming
公司;A—DNA,盐酸胍(Guanidine hydrochloride,GuHCI)和Triton X.100试剂购自北京欣经科生物技术有
限公司;SYBR Green—I核酸荧光染料购自BioWhittaker Molecular Applications(Rockland.Me U.S.A);
PCR反应试剂盒和DNA提取试剂盒购自北京天为时代科技有限公司。引物5’.AGAAGTACCTGCAA—
CAGG-37和5-GACGGACACATrGGGGGT-3’由上海生工生物工程技术服务有限公司合成。配制IX缓
冲液(10 mmol/LIris—HCl,1 retool/L EDTA-2Na,pH 8)。所用试剂均为分析纯。
2005-08-29收稿;2005-lO-3l接受
本文系国家自然科学基金重大项目资助(No60427001、6051020)
万方数据
分析化学 第34卷
2.2芯片制备
2.2.1硅基片制备不同固相载体的制备工艺略有不同。V形沟道制备过程如下:清洗硅片,沉积氮
化硅;光刻,包括甩胶(1500 r/min)、前烘(80。C,lh)、曝光(23 s)、显影(0.6%NaOH,1 min)和坚膜
(1200C,l h);然后把光刻图形转移到氮化硅层;各相异性湿法腐蚀(33%的KOH,70℃,3—5 h)得V形
沟道;1050℃氧化3 h;去掉掩膜氮化硅。矩形沟道和硅微柱是采用深刻蚀技术干法刻蚀而成,Al为深
刻蚀掩膜。多孔硅是采用电化学腐蚀技术腐蚀V形沟道而成(电流密度50 mA/cm2,电解液浓度48%
HF:96%乙醇(1:4,V/V),腐蚀时间10 min),氮化硅为电化学腐蚀掩膜,然后500℃氧化1 h。
2.2.2芯片封装硅一PDMS
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