3000W水冷式超高压毛细管汞灯的设计与工艺.pdf

23 3 000W水冷式超高压毛细管汞灯的设计与工艺 孙晓光 ( 南京华东电子集团有限公司，江苏 南京 210028) 摘 要 介绍了 3 000W 水冷式超高压毛细管汞灯的工作原理、材料选择、制造工艺，并提出了该类灯今 后的研发方向。 关键词 水冷式超高压毛细管汞灯 曝光作业 高温扩散封接 Design and Technology of 3 000W Water － cooled Superhigh Pressure Capillary Mercury Lamps Sun Xiaoguang (Nanjing Huadong Electronics group Co． ，Ltd，Jiangsu Nanjing 210028) Abstract: The paper introduces the work principle，material selection and manufacturing technology of 3 000W water- cooled superhigh pressure capillary mercury lamps． The development trend of this lamp in future is proposed． Key words: water-cooled superhigh pressure capillary mercury lamps;exposure;high temperature diffusion sealing 引言 现代高效率的曝光作业需要与之匹配的光源，水 冷式超高压毛细管汞灯便是优良的曝光光源。毛细 管汞灯是一种在很高电位梯度下工作从而获得高亮 度的光源，它因灯壳呈毛细管而得名。这种灯具有瞬 间启动、体积小、功率大、光能密度高等特点，其辐射 能量从近紫外一直到可见光，呈连续状态。该灯作为 曝光、晒版、光固化光源广泛应用于印刷行业、印刷电 路版制作和彩色显像管生产。目前在我国该类产品 主要依赖进口。 1 工作原理 水冷式超高压毛细管汞灯的启动和工作依靠漏 磁变压器来实现。变压器的开路电压是灯管电压的 2 倍，约 3 500V，输 出 电 流 等 于 灯 的 工 作 电 流，为 1. 7A。当其工作时，灯管电极被加上高压，从而发射 电子，灯管内的潘宁混合气体被电离、激发，灯管很快 导通，其中的液汞迅速气化，蒸气压达到 60atm，在此 过程中，随着汞蒸气压的提高，原子激发到高能级的 几率迅速增加，共振辐射完全被吸收，可见区发射光 谱的谱线放宽，连续光谱逐渐占优势，灯管发出耀眼 的光。 2 材料选择 我们与复旦大学光源与照明工程系共同研制开 发的 3 000W 水 冷 式 超 高 压 毛 细 管 汞 灯 主 要 参 照 了 日本样灯 HT3000。其外形结构尺寸 如 图 1 所 示，该 灯的性能参数见表 1。 图 1 3 000W 水冷式超高压毛细管汞灯 期表 1 3 000W 水冷式超高压毛细管汞灯的性能参数 功率 P (W) 电压 U (V) 电流 I (A) 外径 D (mm) 内径 d (mm) 总长 L (mm) 弧长 l (mm) 3 000 1 770 1. 7 6 2 253 80 2. 1 玻壳设计 水冷式超高压毛细管汞灯的玻壳使用普通石英 毛细管。由于 这 种 灯 的 管 壁 负 载 很 大，工 作 气 压 很 高，需要考虑灯的安全性，因此必须考虑玻壳应力的 问题。根 据 泡 壳 应 力 公 式 可 以 计 算 出 该 灯 的 安 全 系数。 热应力切向分量: σ T θ = 1 2 W Q C( r i + r i ln r r i － r 2 o r i r 2 i r 2 +( )1 ln r o r i r 2 o － r 2 i ) (1) 热应力轴向分量: σ Tz = W Q C μ ( r i 2 + r i μ ln r r i － r 2 o r i ln r o r i r 2 o － r 2 i ) (2) 张应力切向分量: σ p θ = P Hg r 2 i r 2 o － r 2 i (1 + r 2 o r 2 ) (3) 张应力轴向分量: σ pz = P Hg r 2 i r 2 o － r 2 i (4) 式中， r i ———内径，cm; r o ———外径，cm; W Q ———灯管表面热耗功率，W; p Hg ———汞蒸气压，atm; C———常数，29kg /(W·cm) ; μ ———泊松比，0. 16。 安全系数: n f = σ u / σ m (5) 其中，σ u 是石英玻璃的极限强度(800℃ ) ，σ m 是玻管 内外壁最大热应力和张应力之和。 通过计算，我 们 设 计 研