CM303双二选一模拟开关电路.pdf

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CM303双二选一模拟开关电路

第 卷第 期 年 月 《微 电 子 学 》 《洲尹 仑 牡 , 忱 双二选一模拟开关电路 江泽福 电子工业部第 研究所 , 四川重庆 。 摘 要 本文 主要介绍 双二选一模拟开关 电路的墓本结构 , 包括从 电路 的 版 图设 计 、 工 艺设 计原 则 , 以及 采用理层 外延技 术 , 本 电路 以 实现消除闭锁现象为 目的 。 给 出 了制造 工 艺条件对 外延材料的选择关 系 , 最后 给 出 了电路的性能指标 。 关键词 模拟开 关 闭锁 一 云而脚 了‘“必晚 及月‘才 一名此么 , ‘ 、 阳心 , ‘如卿叩 ‘汕脚 加 始 一 比 一 四伴 勘 扭 韶 记 场 盆 汉 劝 认 , 比 ‘ 泌 吃 , 汰 一 引 言 集成 电路有着双 极集成 电路 所 无法 比拟的优点 。 双二选一模拟开关 电路无论在军工领域还是在 民用中 , 都有着 广泛的用途 。 因为该电路具有静态 电流低 、 传 输信号幅度大 、 耐压高 、 速度快和导通电阻低 等特点 , 所以倍受广大用户的欢迎 。 该 电路 采 用铝栅 的构造和工 艺 , 使用离子注入和栅氧化等工艺 , 能将电阻 、 介 质电容和有源器件等元件集成在芯片上 。 在 集成 电路中 , 存在着特有 的 可 控 硅效应 即 一 一 一 闸流管效应 。 使起隔 离 作用的 一 结 , 从反 向高阻变 为正 向低阻 导通状态 , 失去隔离作用 , 出现大 电流 。 这 种 情况轻则造成逻辑功能失误 , 重则烧毁电路 , 造成永久失效 。 因此 , 该电路中的抗 闭锁措 施 , 是研制中要解决的主要关键技术问题 。 下 面 介绍 的电路版 图设计和工艺设计原则 , 以 及采 用埋层外延技术等 , 都是 以 实现 消除 闭 锁现象为 目的 。 电路结构 该 电路是 由输入保护 电路 、 电平转换 及 收稿 日期 一 一 · · 参驱动器和模拟开关电路组成的双二选一模拟 开关电路 , 其逻辑图如图 所示 。 一 二〕 一 一 二二日 〕 , 缚 到 负 电源 , 而 点 束 缚 到 正 电源 , 氏 玖 。 一 、 , 。 为了了解 与 、 随模拟 电压 的变化情况 , 采用互补对模拟开关 。 这样 , 对 每个器件的 价 、 随模拟 电压变化情况就 可分别进行检测 。 甩出 〔 叮 呱 图 逻辑图 一日卜一 创 , 电平转换 了飞 「 及驱 动 卜 门 甲咋 日 ,‘ 图 输入保护电路 一日 训一曰︺叫。 午 图 典型单元电路 阶 阿助 门 输人保护电路 输入二极管提供输入保护 , 电阻起限流 作用 , 二极管 , 把正输入电压保持在 叽 。 , 二 极管 把负输入电压保持在 汽 、 。 其输入保 护电路如图 所示 。 电平转换电路 电平转换 电路直接用 竹 电平来控制 。 尸 、 和 尸 、 组 成两个反 向器 , 尸 、 和 尸 、 组成正反馈连结 , 尸 、 、 尸 , 、 组成反 向器 , 分别控制模拟开关 的 和 管的栅极 。 模拟开关电路 模拟 开关电路如图 所示 。 和 口 组成 第一级输入反冲器 , 并建立一个适 当的输 入 阑值电压 , 其闭值在 和 之间 姚一 、 和 一 电容用来平衡补偿电荷之用 , 口 和 认 是一对互补对输 出 , 当开关导通时 , 总是束 图 电平转换及驱动电路 接电平转换 及驱动 鼠气 , 出 — 劝 刀 , 图 模拟开关电路 消除闭锁 的措施 由于 模拟开关存在着 闭锁现象 , 严重干扰和破坏 电路的正常工作 , 因此采 用 相应措施加 以防止 , 是研制 双二选一 · · 模拟开关 电路首要解决的主要关键技术 间 题 。 下面从几个方面入手加 以解决 。 东 版图设计 根据有关 文献报道 〔, , , , ‘ , , 保持 电流 、 产生闭锁的电流 由下列方程式描述 , , , · , 十 、 · 十 , · 。 一 式中 , 是流经阱的电流 刀津 是阱电阻 , ‘ 是流经衬底 的电流 是衬底 电阻 , 是 寄生横向晶体管电流增益 , 声 。 是寄生垂直晶 体管电流增益 。 当 。 的乘积足以产生再生时 , 闭锁就 会启动 。 减小电阻 、 和 , , 能有效消除闭锁 现象 。 在版 图上 , 我 们采用的是双 保护环结 构 , 其剖面图如图 所示 。 图 双保护环抗闭锁的等效电路 十 ” 十 , 消除闭锁现象的双保护环结构 剖面图 卜丫犯一衬一图 其闭锁现象的等效电路如图 所示 。 采 用 矿 保护环 , 卖际给 。一 。。 纵 向晶体 管多加了一个收集极 , 收集了越过 阱的 电 子 , 也就是说降低了衬底电阻 凡 。 而 干环放 置在 阱边缘并与 阱相连 , 这样可以降低 阱电阻 心 。 另外 , 作为 一 一 管的伪收集极

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