XL80激光干涉仪误差测量总稿.pptVIP

XL-80激光干涉仪系统 系统测量能力 线性、角度（加回转轴）、平面度、直线度和垂直度 激光头电源： 外部电源，85-265 VAC，自动适应 线性测量精度 ± 0.5 ppm 激光稳频精度 ± 0.05 ppm 线性测量原理 用于测量线性位置的典型系统设定 激光线性测量由以下组件构成： XL-80激光头 三脚架和云台 XC-80环境补偿单元 线性测量光学镜组 光学镜安装组件，用于将光学镜组安装到机器上 LaserXL?校准软件 线性测量配置 线性测量垂直轴 线性测量水平轴 为安全起见，开始时，XL激光头的光闸应转至关闭位置，如下图2所示。 线性测量准直光学镜组 调整激光头和线性光学镜组，使之与运动轴保持准直，如下图1所示： 将光闸转动至校准位置，如下所示： 调整XL激光头和反射镜的位置，以使光束穿过干涉镜，并由反射镜反射回来。移动激光头、干涉镜和反射镜，使测量光束和参考光束在光靶的中间位置重叠。 沿运动轴全程移动机器，确保两束光保持重叠，相应地调节平台、后脚和激光准直辅助镜。准直辅助镜是用于简化光束的准直调整。它可减少激光头和三脚架的调整工作量。 将光闸转动至测量位置，如下所示： 确保整个轴行程上都具有足够的信号强度并保持不变。 角度测量原理 激光角度测量由以下组件构成： XL-80激光头 角度测量光学镜组 Lase