受限衍射对激光束扫描系统分辨率的影响.pdfVIP

第 19 卷第 2 期 2008 年 2 月 到咱莘·黯摊 Journal of Optoelectronics ? Laser Vol. 19 No.2 Feb.2008 ·研究简报· 受限衍射对激光束扫描系统分辨卒的影响铃 郑华12·\ 郭福源2 ，玉立强1 ，石岩l，汪沽l ，陆祖康1 (1.浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心，现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州 310027 ， 2. 福建师施 大学物理与光电信息科技学院，福建福州 35∞07) 搞裹 g对受限衍射商斯光荣的传输和激光束扫描系统的线分辨率进行了详细的2理论分析。在不间孔径阀孔的 限制下，对扫描物镜焦丽上的衍射光场分布进行了数值计算，并利用二阶矩统计的方法对焦商上的等效光斑半 径进行数值计算，将其与不受限时的埋怨情况进行对比，分析孔径尺度对激光荣扫描系统分辨凉的影响.结果 表明 s受限衍射使激光束扫描系统的分辨率下降，但随着孔径尺度的增加，这一影响远步变小，均阀孔半役 l;;;i; 2ω 时，可忽略高斯光束衍射对扫描分辨率的影响。得到的这些结论可对激光束在精密扫描、金光通信和集成光 学等的应用提供一些有益的帮助。 关键诩 z离斯光束$衍射F 工阶矩统计F 扫描;分辨率 中图分类号:ω36 Jt献标识码 :A 文章编号: 1005-0086(2ω8)02ω0282-03 币J.e influence of diffraction limittd佣 laser beam 刷刷I唱 systems 1咽。lution ZHENG Hua1 ? 2 ? 赞， GUO Fu-yuanz , WANG Li-qíaogl , SHI Yad , WANG lie1 , LU Zu-kangl (1. State Key Laboratory for 协dem üptical lnstrurnentation. l而RC for Optical Instrument，刀1ejiang University , 日angzhou 31∞27.China; 2. School of Physiω 句toElectroniωTechnology ， Fujian Nonnal Universíty. Fuzhou 350007.China) A?钳制;The diffraction of Gaussian beam limitai by ape口ure and the line resolution of laser 悦am scaruring systems are 80- aly时 theoretícally in detail. The díffraction dístributíons of Gaussi80 beam linùted by the circular holes wíth different sizes in 院anni鸣。bjectivés focal plane are 5t叫iai.叫 then the effective s防t radíus in f，侃al pl删 is calculated by using second moment and con1parai wíth the ideal one. the influence of a阴阳res wíth different sizω ∞ the resolution is analyzed. The reψ sults show that the linùt创 díffraction 切1I 10wer the system s resolution. Wi出 the increasing of a阳tu陀8 时邸.the ínflu附 m优 is 悦ωnùng smaller,when the radíus l二泣如，the influence can be ignored.咀耐 resul臼 rnay be helpful for laser beam s application in high quality 阳Illúng.all optical con1?1unicatio邸， ínt锦rat创 01阳 andso 侃 Key w例也;G由ussian bearn; díffraction; 岱∞nd rnoment; 优anni吨川.esolution 1 引言 在高精度拍捕和金光通情等系统中，存在有限通光孔栓的 限制，孔役受限衍射合使光学系统的分辨率下降。目前，多敬 文献使用平面被戒球面被模型来简化衍射问酶的分析[1.2J 。 实际上，使用高斯光束来描述撒光束的光强分布才更为恰 当[3.4J .依此分析受限衍射光学系统的分辨率，可以得到更精 确的