激光技術實驗自編教材.doc

激光技术实验讲义 光电子实验教学中心2005.10 目 录 目 录 2 实验一 精密位移量的激光干涉测量方法及实验 16 实验二：数字干涉测量方法及实验 19 实验三：面形的三维干涉测量及评价（PV值与RMS值） 22 实验四、光学系统的波差测量 23 实验五、光学系统的PSF及MTF评价 25 实验六 缝宽或间隙的衍射测量 28 实验七 微孔直径的衍射测量 31 实验八 巴俾特原理及细丝直径测量 33 实验九 变形的全场衍射测量 34 实验十 透镜的FT性质及常用函数与图形的光学频谱分析 37 实验十一 4f光学系统FT及IFT系统实验 39 实验十二 图像信息处理的光学实现 42 实验十三 光散斑的性质及测试方法 43 实验十四 面内位移的散斑测量 44 实验十五 形变的散斑测量 46 实验十六 速度的散斑测量 47 实验十七 激光共焦测量的原理及实验 48 实验十八 三维形貌层析的共焦测量 50 实验十九 位移的纳米测量方法 51 实验二十 微弱振动的纳米量级监视实验 53 实验二十一 光纤传感技术的原理实验 54 实验二十二 光纤传感的温度测量实验 57 实验二十三 光纤传感的压力测量实验 60 仪器概况 CSY－10L激光多功能光电测试系统实验仪（Laser Universal Opto-Eletro Testing Systems）是在系列传感器实验系统的基础上发展的新型光电测试实验系统，用于仪器科学、测试计量、自动控制以及物理等课程教学。其特点是实验内容新颖，技术先进，功能多样。实验指导书提供23个实验，包括激光干涉、散斑、衍射、光电、共焦、光纤、纳米、图像等多种先进测试技术，对学习者了解和掌握现代光学测试技术中的一些主要原理及方法建立基础，达到实验者今后应用中举一反三的目的。 随着近代工业和现代科学技术的发展，高精度、非接触、高效率、自动化是测试技术发展的方向，而传统的光学及光电测试技术已不适应上述要求，在精密自动测试技术中必须注入新的活力。20世纪80年代以来激光和计算机技术结合为近代光学及光电测试技术开辟了新途径，这就是现代光学测试技术。CSY－10L是为演示近代光学测试技术而设计的一套多功能光电实验教学仪器，很好的体现了近代光学测试技术中的非接触性、高灵敏性、三维性及实时性。 本实验系统主要适合于测试计量技术专业、光学专业、仪器科学相关专业、自动化专业、物理专业以及大学物理等的基础课程教学实验使用。由于复用光学平台的功能多，技术先进，也可以为前期科研，本科生毕业设计，研究生论文的试验服务。 仪器原理 2．1 多功能光学系统 本实验系统的光学原理如图1所示，激光（He-Ne，波长635.8nm，功率3mw）通过 图1 实验仪光学系统 1－激光器 2,17－衰减器 3,5,11－定向孔 4,13－移动反射镜 6,7,9,12－反射镜 8,29－物镜 10－准直透镜 14－分光棱镜 15－共焦显微镜 16－多功能试件夹及组合工作台 18－带压电陶瓷的组合工作台 19,27－衍射试件夹 20－成像透镜 21－目镜 22－可调光阑 23－光电接收器 24－导轨25,28－直角棱镜 26－傅氏透镜 30－五维调节架 31－光纤分束器 32－光纤 33a－外置式光纤传感器 33b－内置式光纤传感器 34－光纤夹持器 35－备用试件架 各种光学元件的切换与配置，组合成一种光学物理系统，实现定性观察与定量测试，最终由光电接收器23接收，并将信号送入计算机，完成实验内容的显示与计算。所谓多功能，主要由下列七部分组成： Twyman-Green干涉系统 激光1经衰减器2调节光强，小孔3,5定向，扩束镜8,10扩束，分光棱镜14分光后，一路由工作台16上试件返回，形成参考光(参考臂)，一路由工作台18上试件返回形成物光（测量臂），再返回分光镜14形成干涉场，经透镜20成像（透镜21选装），光阑22滤波（选装）后，在CMOS23上形成稳定干涉图样，由计算机程序实现实验显示与定量。 T－G干涉系统用于实验1～ 5。 衍射测量系统 激光1经反射镜4，12，13，分光棱镜14转向，射向衍射试件（试件夹19中）产生衍射，经透镜20会聚成像，至CMOS23接收，送计算机观察，并对部分试样实现定标与计量。 本光路用于实验6～9。 傅氏变换光学系统(Fourier Transformation, FT; Inverse Fourier Transformation, IFT) FT：激光1经定向孔3，5定向，透镜8，10扩束，经分光棱镜14透射试件夹19中FT试件。试件可选