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步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究 文章编号: 1∞6 -1355(2∞8)04 -仪朋 -03 步进扫描式光刻机隔振试验平台 主动;咸振系统试验研究 杨辅强，吴运新，邓习树 (中南大学机电工程学院，长沙 410083 ) 摘 要:根据步进扫描式光刻机的振动特点，设计隔振试验平台的减振系统，并对试验平台的主动减振系统进 行测试研究。测试结果表明，步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统，能有效降低光刻机工作过程中运动部件 对工作平台的冲击，具有良好的减振效果。 关键词:振动与波:步进扫描式光刻机:主动减振;试验研究 中圈分类号 :TH 1l 3.1 文献标识码 :A Experimental Research on an Active Vibration Control System of the Step and Scan Lithography Vibration Isolation Platform YANG Fu-qiang , WU Yun-xin , DENG Xi-shu ( College of Mechanical and Electrical Engineering , Central South University , Changsha 41∞83 ， China) Abstract : According to the vibration characteristic of the step and scan lithography I the vibration re- duction system of the vibration isolation platfonn is designed , and the experimental research on its active vibration control is conclucted. The testing result indicates 由at the active vibration control system of the step and scan lithography vibration isolation platfonn can reduce the vibration of the lithography caused by the moving parts effectively and the damping effect is satisfactory. Key words: vibration and wave; 由e step and scan lithography i active vibration control; experimen- tal research 振技术[5) 。 3 光刻技术在经历了接触式、接近式、投影式、1: 1 反射扫描投影式、步进缩小投影式几个大的技术阶 段后，目前正向步进扫描方式过渡[1.2) 。以步进扫 描式光刻机为代表的集成电路制造设备是光、机、电 一体化的高精尖产品，其设计和制造集中体现了相 关学科中最高水平的研究成果[3 ，4) 。光刻机在工作 过程中，由于工件台和掩模台等分系统具有较高的 运动加速度和运动速度，运动部件产生的大惯量和 其它外部因素将引起光刻机工作核心部分-工作平 台(安装光源系统)的振动，从而影响曝光的质量。 在光刻机曝光过程中如何精确地保证其静态和动态 的相对稳定是一个非常关键的技术问题。为了保证 光刻机在工作过程中具有极高的精度，必须将运动 部分的产生振动和曝光部分隔离，现代步进扫描式 光刻机的超精密减振系统采用了振动隔离和主动减 本文依托国家自然科学基金委项目重大项目、 上海市科委联合资助项目《精密机械减振隔振技术 研究 ，对步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减 振系统进行了试验研究。 收稿日期 :2∞7-10-17 基金项目:国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号: 5039佣64)及其与上海市科委联合资助项目《精密机械减 振隔振技术研究机 作者简介:杨辅强 (1984 -)，男，湖北洪湖人，硕士研究生，研究方向 为振动主动控制，精密运动控制等。 1 隔振试验平台;咸振系统的设计 为有效地抑制周围环境及建筑物自身振动对试 验台的影响，试验台的地基应该有良好的减振、隔振 能力。图 1 为本实验平台地基隔振设计的结构 图[6] ，首先在挖好的地基底面铺→层细砂，可以初 步吸收地面各种振动传递的能量，达到降低振动的 目的。然后就是一层钢筋混凝土隔层可以取到支撑 的作用，橡胶减振块安装在钢筋混凝土壁的四周，进 一步隔振，接着在橡胶减振块中填满混凝土，可以取 到大地基的作用，保证工作台的稳定。上述地基隔 振方案