JY_石英封管培训概念.ppt

备注：演示时，把鼠标放在每个步骤下面的方框中会变成手的形状，点鼠标左键就可以链接到对应的操作规范部分； 在操作规范部分，把鼠标放在标题下方的文字框中会变成手的形状，点鼠标左键就可以返回到操作流程部分； * 石英封管操作规范和技巧 主要内容 第一部分：工序介绍 第四部分：操作技巧 第二部分：操作流程 第三部分：操作规范 第五部分：设备相关 第六部分：质量控制 第七部分：安全生产 工序介绍 石英封管工序介绍 石英封管是把已装好硅片、垫片、垫环、杂质源的封管，用氢氧焰把封帽和管体烧接成一体，最后抽成高真空的操作步骤。 设备及工具 CY2003型封管机 高频火花检漏仪 设备及工具 工作台 氢气报警器 设备及工具 封管夹具 氢氧焰灯 设备及工具 石英抽嘴 石英料丝 操作流程 石英封管操作流程 打开设备总电源，开启水、电、气开关阀门。 将装好的封管夹上合适的夹具。 用氢氧焰烧熔封帽口，使其和管体一体化。 接上真空泵放在烘烤炉体内抽真空。 设备开机 夹封管 氢氧焰封帽 抽气烘烤 用氢氧焰把封管口封死 封口 操作流程 石英封管操作流程 封管结束后，关闭电源及设备。 检验无漏气无异常后送高温扩散。 关封管设备 自检送扩散 开机规范 打开封管机电源开关 打开机械泵冷却阀门 开机规范 打开电源开关 打开机械泵开关 打开真空泵开关 开机规范