- 1、本文档共7页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
1
薄膜电阻(方块电阻)
(Sheet Resistance)
A
L
R ??
tW
L
?
? ?
W
L
t
?
? Unit:(?)
定义:
t
Rsh
?
? Unit:(?/?, or ohms /squre)
W
L
RR sh? 薄膜的总电阻为方块电阻与长宽比的乘积。
t
L
W
I
L
W I
2
W
L
RR sh? 薄膜的总电阻为方块电阻与长宽比的乘积。
3
WRW
I
V
I/W
V
J
V
r
l
l ?????
单位宽度的电阻:[量纲:电阻?长度]
[单位:??mm]
由 可推导出:
W
L
RR sh?
线电流密度 [量纲:电流/长度]
t
L
W
I
I/WJ l ?
LRr shl ?
L
W I
Rsh
4
薄膜载流子面密度
(Sheet carrier density)
单位:(cm-2) tn
WL
WLtn
S
Vn
S
N
ns ??
?
?
?
??
以n型半导体为例,电子浓度为n
t
L
W
I
则上图中的薄膜载流子面密度为:
S
L
W I
ns
5
薄膜电阻与载流子面密度
由:
以n型半导体为例,电子浓度为n
t
L
W
I
nen?
?
1
? 得:
? ?tneμtenμt
ρ
R
nn
sh
?
?
?
??
11
ns
sh
μen
R
1
?所以:
L
W I
Rsh
ns
6
线电流密度与载流子面密度
以n型半导体为例,电子浓度为n
t
L
W
I
线电流密度: venentvtJWt/wJI/WJ sl ???????
面电流密度: envJ ?
venJ sl ?
在低场情况下:
μEenvenJ ssl ??
sh
l
R
E
J ?
7
方块电阻、薄膜载流子密度
电学参数 体材料
(bulk)
薄膜材料
(film)
关系
载流子浓度
n(cm-3)
ns(cm
-2)
电流密度
(mA/cm2)
(mA/cm)
电阻
(??mm)
(?/□)
nen?
?
1
?
ns
sh
μen
R
1
?
envJ ? venJ sl ?
sn nt?
sJ Jt?
shR
t
?
?
对于n型半导体
??? shR??
您可能关注的文档
- 2015光通信原理与技术--03-20150318Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--04-20150325Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--05-20150401Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--06-20140408Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--07-20140415Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--08-20150422Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--09-20150429Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--10-20150506Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--11-20150513Joseph C Palais.pdf
- 2015光通信原理与技术--12-20150520Joseph C Palais.pdf
文档评论(0)