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希波尔科技 TFT-LCD 切割工艺 1 第三章 有关切割裂片工艺的探讨 3.1切割工艺参数 正如我们在前面的有关切割工艺和切割原理的叙述中所提到的，切割制程中， 刀轮在玻璃上形成的破坏主要为Median crack 和Lateral crack。对于在玻璃厚度方向上 产生的垂直裂缝，我们希望Median crack 的深度越深越好，因为垂直裂缝的深度越深 ， 对于玻璃而言，其强度就越小，因此在后面的裂片制程中所需的施加在玻璃表面的 裂片压力就越小；而对于Lateral crack，由于其在后续制程中会导致玻璃屑的产生， 如会对偏光板贴附中的panel表面的洁净度造成影响，引起不必要的损失，影响到后 段的制程，因此我们希望在切割过程中所产生的Lateral crack 越小越好。 因此我们所需要的合适的切割条件是：当切割完后，在玻璃厚度方向上形成的 垂直裂缝Median crack 足够大（Maximum）的同时，在玻璃表面产生的Lateral crack 足够少（Minimize）。为了不使TFT 玻璃在切割完成之后在较短的时间内发生断裂， 我们一般选择合适的切割深度为玻璃厚度的1/10 ——1/6，因此对于TFT-LCD目前使 用的0.63、0.7 或 0.5mm厚的玻璃，切割深度在 —— 之间。mμ70 mμ110 切割时，切割刀轮是通过刀轴安装在刀座上，由刀座在切割机台的传动轴上移 动，从而带动刀轮在玻璃上移动，只要给切割机台设定一定的切割压力和使刀座下 降一定的距离，就能保证刀轮在玻璃上形成的切割线连续。对于机台的切割刀座而 言，如果仅设定其下压量（即切割时刀座的下降距离，单位为：mm）是不够的，因 为刀座的设计机理是当没有设定切割压力时，刀座是可以在垂直方向上上下移动的， 这样以来，即使对机台设定了下压量，但由于玻璃表面是很坚硬的，当切割时，由 于玻璃对切割刀轮的反作用，使得刀轮并不能切入到玻璃中，达不到切割划线的目 的。若要使刀轮在玻璃表面行进时，能深入到玻璃中，就必须设定一定的切割压力 （单位为：MPa），保证刀轮不会因玻璃对其的反作用而被弹回，而能切入玻璃一定 距离。同时，基于生产上效率的考虑，也可以对切割速度（单位为：mm/sec）进行不 同的设定。 因此，影响切割中的几个主要因素为：刀轮的种类、下压量、切割压力和切割 速度。由于在切割中，对于切割品质我们在意的是Median crack 和Lateral crack 的状 况，因此以下就将以实验的方法讨论以上几个因素对Median crack 和Lateral crack 的 影响。 3.1.1各工艺参数对Mediancrack的影响 （1）切割刀轮 对于切割刀轮的选择，我们要考虑的是其外观尺寸是否与机台的刀座配对，刀 轮的角度是否适合所切割的玻璃，即所选用的刀轮对切割后玻璃的Median crack 和 Lateral crack 有何影响。 目前工业上切割TFT-LCD玻璃使用的切割机，所用的刀轮的外径（OD）都为 2.5mm，内径（ID）几乎都为0.8mm的，因此在此方面不用过多的考虑，需要考虑的 只是刀轮的角度对Median crack 和Lateral crack 的影响。 实验首先选取 和 两种不同角度的刀轮，在某一确定的切割条件下，即0120 0130 对于同样的切割速度、切割压力、刀轮下压量，使用两种不同角度的刀轮同一种玻璃 Corning EAGLE2000进行切割，看其切出的结果，使用实体显微镜对两种不同刀轮的 切割深度进行量测，并记录实验数据。 希波尔科技 TFT-LCD 切割工艺 2 得出实验数据如表3-1所示，并由此做出对应的实验曲线图如图3-1： 表3-1 切割刀轮对Median crack 的影响 0 20 40 60 80 100 120 140 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14 0.16 0.18 0.2 0.22 切割压力 ／MPa 切 割 深 度 ／ μ m 130 120 图3-1 切割深度与切割刀轮角度的关系 由此图可看出，角度为 的刀轮在同样的条件下，切出的切割深度要大于角度为0120 的刀轮 ，根据微裂纹理论，由式（2-1）0130 mμ105? ? ? ? ? ? ? = 2 1 m ) c2(+1 ρ σσ 可知，微裂纹端部的应力与微裂纹的曲率半径成反比，当角度小的刀轮切入玻璃时， 在玻璃表面形成的微裂纹的曲率半径要较角度大的刀轮形成的微裂纹的曲率半径小， 因此，在同样的条件下，使用角度小的刀轮，其在玻璃表面形成的微裂纹端部的应 力就较大，因而其形成的微裂纹扩展而成的垂直裂缝的深度就较深。 根据此关系，对于厚度较大的玻璃，我们应选择角度较小的刀轮，但刀轮的角 度对于Lateral crack