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多晶矽TFT LCD應用 指導老師：許進明 學 生：曾祥修 學 號：96L0231 大綱 多晶矽TFT LCD元件結構 TFT LCD目前技術分為 低溫多晶矽 多晶矽TFT薄膜製作方法 多晶矽TFT薄膜在元件之功能 多晶矽TFT薄膜的特性要求 多晶矽TFT薄膜的優點 參考文獻 多晶矽TFT LCD元件結構 TFT-LCD 即是thin-film transistor liquid-crystal display (薄膜電晶體液晶顯示器) 的縮寫TFT-LCD。 TFT LCD目前技術分為 TFT LCD目前技術分為 非晶矽(a-Si TFT) 多晶矽(Poly-Si TFT) 高溫多晶矽 必須以攝氏1000度以上製程。 低溫多晶矽 600度上下製程。 準分子雷射退火法(ELA) 固相結晶法(SPC) 金屬又發結晶（MIC/MICL） 低溫多晶矽（準分子雷射） 準分子雷射的工作物質是準分子氣體。準分子就是一種處於激發態的複合粒子，在標準狀態下，即在基態時，它處於分離狀態，而在激發態處於分子狀態。 低溫多晶矽（固相結晶） 固相結晶技術成本最低，也是最容易使用的方式。一般的作法是將非結晶矽