电子探针3程序.ppt

第四章 电子探针微区分析的定性 4.1 定性分析的特点 不仅可以得到被分析区域有什么？ 同时可以得出元素在一定区域是如何分布的？ 4.2 在扫描电镜中X射线能谱微区分析的虚假因素 虚假因素来自三个方面： X射线探测过程 信号处理过程 样品周围环境 1. 检测过程中出现的虚假因素 （1） 硅逃逸峰 （Escape peak ) 从Si(Li) 探测器探测X射线过程来看硅逃逸峰的产生; 光电吸收 SiK空位 光电子 SiK?X光子 俄歇电子 （ESi=1.73KeV) 逃出探测器 被Si吸收产生光电子 产生电子空穴对 ; 例： MnK?＝5.890KeV MnKesca=5.89－1.73=4.16KeV ; (2) 吸收边 Si(li