俄歇电子能谱最新.pptVIP

; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ;1、微电子学的应用 随着大规模集成电路技术的日益发展，需要在更小的微区内了解表面或近表面区、薄膜及其界面的物理性质和化学成分。AES为此提供了有力的工具。 Au-Ni-Cu金属化系统广泛用作内连线、混合微电路的外接引线及陶瓷衬底上的薄膜。常用的结构是最内层为Cu，最外层为Au，以防止环境侵蚀并保证可连接性和低的接触电阻，中间用Ni作扩散阻挡层。样品是在涂复了Cu层的陶瓷衬底上电镀一层0.1μm厚的Ni和2.0μm厚的Au。整个系统在空气中300℃热处理4h，以模拟检验过程。处理后从25μm×25μm面积的表面收取的AES谱。 ; 由谱可见，表面除了Au之外还有C、O和Ni。扫描AES图说明，在某些区域只存在Ni和O，而另一些区域则还有Au和C。 ; ;2、固体表面清洁程度的测定;3、表面偏聚的研究 许多合金元素或杂质虽然含量很少(甚至仅为10-6量级)，却能通过扩散并偏聚在表面而显著改变表面的化学成分。适当热处理后。这种偏聚又可能反转。多数工程材料是二元的或更复杂的成分，因此常会出现表面偏聚。这种现象对于材料的粘接、氧化、催化、腐蚀及烧结性质十分重要。另外，研究表面偏聚也有助于了解晶界偏聚，因为二者的行为是相似的。AES由于其对表面的高灵敏度特别适于研究表面偏聚。 ;304不锈钢样品做成带状，在进行表面分析之前在真空室内溅射清洗和加热。不同温度下表面的P、S、Si和N等元素的AES峰高随时间的变化如下图所示。; ; ;; ;; ; ; ;因为Ar分子最外层是封闭价电子壳层为P6。当一个电子被激发后，外壳层变为P5。由自旋角动量和轨道角动量耦合有2P3/2和2P1/2，在光电子能谱图上表现为两个锐峰。 ; ; 研究谱图中各种谱带的形状可以得到有关分子轨道成键性质的某些信息． 例如，出现尖锐的电子峰能表明有非键电子存在，带有振动精细结构的比较宽的峰可能表明有π键存在等． ;谱带形状反映了分子轨道的键合性质; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ;5、利用XPS进行化学分析的依据是什么？利用XPS鉴别化学状态有哪些方法？ 答：XPS主要研究原子的内层电子结合能。内层电子不参与化学反应，保留了原子轨道的特性，因此其电子结合能具有特征性，不同元素原子可以产生完全分离的电子谱线，所以相邻元素的识别也不会发生混淆。这样就可以对样品表面元素进行定性分析。 6、发射俄歇电子的原理是什么？发射过程涉及几个轨道？如何表示？ 答：电子束辐照物质，似的物质表面元素的原子内层电子被激发形成空穴，较高能级上的电子填补空穴并释放出能量，这一能量再传递给另一电子，使之逸出，最后这个电子称为俄歇电子。俄歇电子的发射涉及三个电子（至少两个电子轨道），用三个电子所在电子能级符号（K、L、M…..)并列表示俄歇电子。;7、试比较XPS、AES、UPS分析方法应用范围与特点？;8、电子能谱仪的基本结构 答：激发源（X射线源、真空紫外灯、电子枪） 试样室系统 电子能量分析器 检测器 放大系统 真空系统 数据采集和处理系统