07工艺-光刻讲义.pdfVIP

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2017-04-18 发布于湖北
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集成电路工艺之光刻 1、基本描述和过程光刻 2、光刻胶 3、光刻机 4、光源 5、光刻工艺 6、新技术简介 IC 工艺流程 IC 制造 Materials IC Fab Dielectric Test Metallization CMP deposition e-Beam or Photo Ion Implant Wafers Mask or Packaging EDA PR Chip Thermal Implant Etch Reticle Etch Processes PR strip PR strip Masks