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半导体器件的加速寿命试验评价方法 山本 敏男 持续努力提高元器件及材料可靠性的结果，诞生了许多的 但是，所谓加速试验这种试验方法，果真就加速了 高可靠性产品。由此减少了故障发生的机会，而具体作可 吗？而加速又是针对什么，加速了什么？是有必要明确它 靠性评价试验则需要很长时间。人们希望作在更短时间获 的基准。从结论来讲，实施加速试验是以已经可以预测试 得有效结果的评价试验，即加速试验。但是所谓加速试验 验结果，即已知故障主要原因及故障机理为大前提。由此， 并非单纯加强应力缩短时间即可，同时它也不是全能的试 首次加速和加速系数都是有其意义的。反过来这些关系未 验。理解了这一点，有效利用这种手法与否，其可靠性评 明确，却突然将产品曝露在严酷条件，尽管在短时间使其 价的结果会有天壤之别。 发生故障那也仅仅是破坏而已。 在此以电气、电子设备及部件为例，就有关加速试验的概 在可靠性领域进行的加速试验已如您所知，汇总如 要及思路加以说明。 下： “比基准条件严酷的条件下，以大于通常的速度促进 1、 前言 产品的故障机理，利用同一模式存在于两者之间的规律 单单说可靠性试验其内容也是千差万别的，通常从可 性，使其在短时间内再现。”即加速试验的成立是以这些 靠性技术的观点来说，是以产品从工厂出厂后，在市场上 故障的机理与故障模式要同一为前提，其中必定在未加速 保管或使用与周围“环境”息息相关的产品的性能如???保 与已加速的试验之间存在规律性的结果。为此，计划做加 证为其目的。一般来说容易将“可靠性试验”等同于“环 速试验时以下为基本项目。 境试验”，实际上环境试验也是各式各样，不能这么简单 1、可在短时间内评价。 地划等号。实际上环境试验也并非单纯等同“加速试验”。 2、已提出问题，预测好结果的重点评价。 这里从可靠性工学的角度来解析加速试验，而不在品质管 3、已知产品使用条件及其时的环境条件。 理上触及，慎重起见特此告知。 4、留意存储将来可利用的具有一般特征的基础数据。 虽然对解说没有什么必要，但在此说明一下第 2 项和 2、 定义、概要及基本事项 第 3 项主要是指实施试验时已将大致的主要原因提出，