多级粗糙间隙内的两相微流动数值模拟.PDFVIP

第 47 卷第 15 期 机 械 工 程 学 报 Vol.47 No.15 2011 年 8 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Aug. 2 0 1 1 DOI：10.3901/JME.2011.15.083 多级粗糙间隙内的两相微流动数值模拟* 周 平 郭东明 康仁科 金洙吉 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连 116024) 摘要：以带沟槽抛光垫多级粗糙间隙内的固液两相微流动为研究对象，基于计算机模拟生成多级粗糙表面，利用格子 Boltzmman 方法(Lattice Boltzmann method, LBM)计算微观流场，对抛光液在多级粗糙间隙内的流动过程以及固体颗粒的运动 轨迹进行分析。探讨将这种新的抛光液两相微流动分析方法用于平坦化机理研究的可行性，并初步研究固体颗粒在多级粗糙 间隙内的运动和碰撞过程