高频开关型快速灭弧自动复位电子枪真空镀膜专用高压电源题库.doc

真空镀膜用电子枪高压电源的发展 我国自主研发先进的高频开关型电子枪高压电源投入市场 作者一：成都中科唯实仪器有限责任公司 许镜明 作者二：深圳思维特电源设备有限公司 韦小贵 本文作者之一从事电子枪镀膜机设计制造近40年，对电子枪高压电源的研究、设计、制造，经历了下文中所述的各个发展历程，最后才与实力很强的、高频开关电源设计制造经验非常丰富的深圳思维特电源设备有限公司一起，研发成功了迄今国内外性能最好的、电压连续可调高频开关型真空镀膜专用电子枪直流高压电源（SWT-10型），实现了多年来的愿望，并通过下文的简要叙述，介绍推荐给广大电子枪蒸发镀膜工作者和相关镀膜设备制造者。 一、电子枪蒸发源（又称电子束蒸发源）的作用、组成、工作特点。 电子枪蒸发源是真空蒸发镀膜中最重要的热蒸发源，因为电子枪射出的电子束具有很高的能量密度，任何一种金属材料或介质材料用电子枪来打都能使其蒸发，故电子枪在现代真空镀膜中有着广泛的应用。根据不同应用的各种大小镀膜机镀膜的需要，可以配用结构不同、大小不同的电子枪，如微形电子枪（蒸发材料只需绿豆或黄豆大小即可）、小型电子枪（坩埚可有多穴，每穴容积约5ml或更小）、中功率和大功率电子枪（4KW、6KW、8KW、10KW、12KW、15KW，电压有4-10KV）；电子枪的坩埚有Φ80、100、120、140