电化学液膜法腐蚀制备STM探针及其扫描应用.pdfVIP

70 化学科学/ Chemical Sciences 第 34 卷 电化学液膜法腐蚀制备 STM 探针及其扫描应用 丁 万1，周勋2 ，王 _3 (黔商民族医学高等专科学校公共课教学部，贵州 都匀 558仪均 ;2 贵州师范大学物理与电子科学学院，贵州 贵阳 55α)() 1 ; 3 贵州大学大数据与信息工程学院，贵州 贵阳 55∞25) 摘 要: 高质量的扫描探针是保证扫描隧道显微镜的越高分辨率的关键。为了制备出原子级分辨能力的探针，本文设计了 新型制备扫描隧道显微镜探针笨重。 该笨重在成功遍免了传统制备方法的缺点同时，在制备可控性上有了很大的提高。 基 于此笨重，采用电化学腐蚀的方法制备出扫描隧道显微镜探针，扫描电镜表征探针针尖显示尖端异常尖锐。应用于实际 GaAs (∞1)表面扫描可以获得原子级分辨的扫描图，从而进一步证明了利用该新装直可以制备高质量 STM 探针针尖。 关键词: 液膜法，STM 探针，电化学法，可控性 中图分类号 : TN16 文献标识码 : A 文章编号: 1∞3-6563(2016)04-∞70-04 Production of the STM tip by liquid membrane electrochemical etching and its application DING Wan 1 ,ZHOU Xun 2 ,WANG Yi 3 ( I Public Courses Department , Qiannan Medical College lor N，αtionalities ,Duyun 5580ω， China; 2 College 01 Physics αnd Electronic Science , Guizhou Norrnal University , Guiyang 55α则 ， China ; 3 College 01 Big Dωαnd l.价m刚刚 Engineering , Guizhou Univers町 ， Guiyang 55ω125 ， China) Abstract : High-quality scanning tip is the key to ultra-high reωlution of the scanning tunneling microscopy. In order to produce lips with atom-Ievel resolution , we designed a new etching deviωin this study. Such device can not only avoid the disadvantages of traditional etching techniques , but also achieve high controllability. With such device , we obtained an ex- tremely sharp STM tip by electrochemical etching. We applied the tipωthe scanning of GaAs(∞1 ) surface and obtained a scan 呐th atom-Ievel resolution , which proved that the new device could be used to produce high-quality STM tips. Keywords : liquid membrane , STM tip , electrochemical method , controUability 0 引言 扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Micr-osco- 凹， STM)具有超高的分辨率，在材料分析和表征上 具有广泛的应用。 STM 的分辨率与其探针几何形 状密切相关。 STM 探针通常采用铅依合金丝或高 纯度的鸽丝来制备，针尖顶端的原子个数越少，成 像的分辨率就越高，完全理想状况下针尖顶端只有 一个稳定的原子。 STM 探针的制备方法有很多偶 然性和不确定因素，这些因素增加了制备高质量针 尖的难度。人们通常采用机械剪切的方法制备铅 惊合金丝探针，但机械剪切方法的重复性很低，不 容易制备高质量的探针。为了获得稳定的隧道电 流和高质量、高分辨率的 STM 图像，探索可重复、高 质量探针制备方法是 STM 扫描工作的一个非常关 键的问题[叫 。 目前 STM 探针针尖的制备有很多方法，常见的 如化学或电化学的腐蚀、研磨、抛光，机械剪切，光 学蚀刻方式与受控爆裂、阴极溅射、离子镜削、火焰 贵州科学 34(4) ;20