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----------专业最好文档，专业为你服务，急你所急，供你所需------------- 文档下载最佳的地方 ----------专业最好文档，专业为你服务，急你所急，供你所需------------- 文档下载最佳的地方 仿真技术在半导体和集成电路生产流程优化中的应用 闵春燕(1) 王岩峰 博士(2) （1. 浙江大学应用数学系计算机图形图象研究所 杭州 310027 2. 刃之砺信息科技（上海）公司总经理 ） 摘要：半导体和集成电路制造是一个流程高度复杂，资金高度密集的加工过程。与其他产品的制造过程相比，半导体和集成电路制造的特殊性表现在产品工序的繁多，对设备的高利用率要求，和最特殊的是，“再进入”（Re-entry）的流程特点，也就是产品在加工过程中要多次返回到同一设备进行不同工序的加工。这种特殊的工艺流程特点决定了半导体集成电路工序中的排队优化选择策略比其他制造行业更为??杂，对生产效率和制造周期有更直接的影响。本文总结了当前研究较多的几个排队选择策略，通过EXTEND仿真软件对英特尔的一个微型晶圆试验台进行初步研究，来说明计算机仿真手段在半导体集成电路生产流程优化中的作用。 中图分类号：TN3 关键字：EXTEND软件包；仿真；半导体集成电路；制造工艺流程；排队策略；制造周期 一．半导体和集成电路