李爱东-无机非金属材料工艺学 aa-chap17-ceramics coating.pdfVIP

李爱东-无机非金属材料工艺学 aa-chap17-ceramics coating.pdf

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内容提要 §17.1 陶瓷涂层概述 第 十 七 章 陶瓷涂层 §17.2 高温陶瓷涂层 Ceramics Coating §17.3 隐身陶瓷涂层 §17.4 陶瓷薄膜 一、陶瓷涂层特点 §17.1 陶瓷涂层概述 1、定义:以金属氧比物、金属氮化物、 金属碳化物或金属间化合物等无机化合 物为原料,采用特殊工艺在一定材料(金 Introduction 属、聚合物、陶瓷、复合材料)的表面上 to Ceramics Coating 徐覆厚度约0.01至数微米的一层或多层 涂???材料,称为陶瓷涂层。 2、陶瓷涂层分类 3、陶瓷涂层(薄膜)的应用 功能陶瓷涂层-利用涂层薄膜材 料本身作成元器件或起其它特殊 的功能和作用。 结构陶瓷涂层-利用陶瓷优良的 耐热、耐磨和耐腐蚀的特点,增 加底材的使用功能。 1 3、陶瓷涂层(薄膜)的应用 4、陶瓷涂层的制备工艺 工艺的选择主要取决于应用领域的工程要求及成本等因素。 分子束外延 分子束外延(MBE)是在真空 化学气相沉积 蒸发的基础上发展起来的超 薄层材料生长新技术,是超 CVD法是用载气将含 高真空条件下的精控蒸发技 有薄膜组成成分的源 术。 蒸气携带到反应室中 MBE具有生长速率慢 加热的衬底上方,并 (0.1~1μm/h、生长温度低 (GaAs为500~600oC, 在衬底上发生反应形 BSCCO为450oC)和扩散效

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