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内容提要
§17.1 陶瓷涂层概述
第 十 七 章 陶瓷涂层 §17.2 高温陶瓷涂层
Ceramics Coating §17.3 隐身陶瓷涂层
§17.4 陶瓷薄膜
一、陶瓷涂层特点
§17.1 陶瓷涂层概述
1、定义:以金属氧比物、金属氮化物、
金属碳化物或金属间化合物等无机化合
物为原料,采用特殊工艺在一定材料(金
Introduction 属、聚合物、陶瓷、复合材料)的表面上
to Ceramics Coating 徐覆厚度约0.01至数微米的一层或多层
涂???材料,称为陶瓷涂层。
2、陶瓷涂层分类 3、陶瓷涂层(薄膜)的应用
功能陶瓷涂层-利用涂层薄膜材
料本身作成元器件或起其它特殊
的功能和作用。
结构陶瓷涂层-利用陶瓷优良的
耐热、耐磨和耐腐蚀的特点,增
加底材的使用功能。
1
3、陶瓷涂层(薄膜)的应用 4、陶瓷涂层的制备工艺
工艺的选择主要取决于应用领域的工程要求及成本等因素。
分子束外延 分子束外延(MBE)是在真空 化学气相沉积
蒸发的基础上发展起来的超
薄层材料生长新技术,是超 CVD法是用载气将含
高真空条件下的精控蒸发技 有薄膜组成成分的源
术。 蒸气携带到反应室中
MBE具有生长速率慢 加热的衬底上方,并
(0.1~1μm/h、生长温度低
(GaAs为500~600oC, 在衬底上发生反应形
BSCCO为450oC)和扩散效
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