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表 面 工 程 技 术 机械 0 8 2 1 1 表 面 工 程 技 术 1 . 表 面 改 性技术 2 . 表 面 覆 层技术 3 . 复 合 表 面处理技 术 2 1 、 激 光 表 面 改 性 激 光 表 面 改 性 装 置 组 成 示意 图 一 . 表 面 改 性 技 术 3 2 、 电 子 束 表 面 改 性 特 点 ： ? 控 制 比 激 光 易 。 电 子 束 产 生 及 工 作 示 意 图 4 6 - 丝 线 圈 3 、 离 子 注 入 表 面 改 性 离 子 注 入 装 置 示 意 图 5 1 . 热 喷 涂 技 术 二 . 表 面 覆 层 技 术 粉 末 火 焰 喷 涂 6 大 气 等 离 子 喷 涂 爆 炸 喷 涂 2 . 气 相 沉 积 技 术 物 理 气 相 沉积 PVD 7 ? 真 空 蒸 镀 ? 溅 射 镀 膜 ? 离 子 镀 膜 ? 化 学 气 相 沉积 CVD 三 . 复 合 表 面 处 理 技术 1 . 复 合 热 处 理技 术 8 2 . 表 面 覆 层 技术 与 其他 表 面处 理 技术 的 复合 ； 3 . 离 子 辅 助 涂覆 ； 4 . 离 子 注 入 与气 相 沉积 复 合表 面 改性 。 谢 谢 9