Chapter 2 Vacuum摘要.pptVIP

第一章 真空技术;1Pa=1N/m2 旧的压力单位Torr: 1Torr=1mmHg 1大气压=760Torr 1Torr=133.3Pa 1mbar=1.33Torr;真空度的分类： 低真空 1-10-3 Torr 中度真空 10-3-10-5 Torr 超高真空 低于10-9 Torr;有理由有 2 点: 使试样在实验的时间范内保持清洁。 (2)??使电子束或离子束不受到气体分子散射的干扰。 下面我们将看各种参数随气压的变化 ;1、 气体密度 气体密度可以从理想气体定律估计 ;σ＝πδ2：碰撞截面積 δ：分子直徑; 入射通量是在单位时间入射到单位面积表面上的分子数量。 在决定一个表面能得保持清洁多久的关键因素之一是气相分子在单位时间撞击单位面积表面的次数。 在给定条件下（P、T等）用统计物理、理想气体方程和M—B速度分布可以计算入射通量。 ;第一步 入射通量 F 与表面上气体密度有关 ;气体暴露量=表面上方的压力X暴露的时间 气体暴露量的单位是 Langmuir (L) 在 10-6 Torr 压力下，暴露1秒钟。 ;5、粘附系数(sticking)和表面覆盖度(surface coverage) 粘附系数s是一个入射分子到达表面吸附在表面上的概率，s决取于表面复盖度，温度，晶体表面。 S=f(surface coverage, temperature, crystal face) ?;一个吸附物种的表面覆盖度可以有几个定义： 定义1：在单位面积上吸附物种的数量（分子/cm2） 定义2：?=实际的表面覆盖度/饱和表面覆盖度， ? = 0 - 1 定义3：与表面原子密度有关 ?=单位面积吸附的分子数量/单位面积表面原子数量 注意：(1)不论用那一种定义，表面覆盖度用希腊子母?表示；(2)一个单层的吸附物（1ML）对应最大表面吸附类浓度。;If we assume a typical interatomic distance for a solid surface of 3.1 ?, then;;一个清洁表面需多久被气体分子完全复盖？ ? 我们可以做一个估计。假设粘附系数是1（s=1）和单层复盖（1ML）通常在1015/cm2 (1019/m2),那么 time/ML = 1019/F (s) ;小结;1.2 真空测量;;;各種真空計的正常運作壓力範圍;　電容真空計的一大優點是量測真實絕對的壓力值，藉著隔膜的彎曲或偏移(圖十一)造成電容的不平衡，此不平衡量可轉換為一與壓力成正比的電壓訊號。 典型電容真空計的壓力量測範圍為1 torr到10-4torr。;熱偶真空計(thermocouple gauge); Bayard-Alpert 離子真空計;Mass Spectrometers;Quadrupole mass spectrometer - RGA (residual gas analyzer) 10-4 to 10-14 torr Total pressure mode integrates all ion intensities Partial pressure mode indicates residual vacuum composition Highly accurate, precise Complex, expensive, gas dependant;;1.3 怎样获得超高真空？; 密封 真空泵 获得超高真空;橡皮O形环密封 特点：可重复使用，费用低 1 atm – 10-7 Torr ( due to permeation ); 150oC;橡皮O形环密封;;2、? 真空泵;真空泵浦依其正常操作的壓力範圍又可區分為 (i)低真空泵浦(fore pumps，roughing pumps)，運作於黏滯流範圍。 (ii)高真空泵浦(high vaccum pumps)，運作於分子流範圍。;（1）气压范围 A. 粘性流动 气压10-4 Torr；平均自由程短；分子—分子碰撞较分子—壁碰撞的机会高，气体动量转移，净压力梯度；层状流动。 B、分子流动 气压10-4 Torr；平均自由程高；分子—壁碰撞机会较分子—分子碰撞机会多；没有气体的动量转移；几乎没有压力梯度；; Kn=?/a Knudsen number ? ? = 平均自由程；a = 管子直径 Kn0.01粘性流动 0.01Kn1过渡流动(transitional flow) Kn1分子流动;(2)??? 机械泵 1 atm - 10-3 Torr