以溶胶凝胶法制备非晶态IGZO多元氧化物导电薄膜并探讨不.ppt

以溶膠凝膠法製備非晶態IGZO多元氧化物導電薄膜並探討不同組成比例及溫度下薄膜之結構與光學特性;大綱;透明導電薄膜介紹;透明導電氧化物薄膜的應用 平面顯示器(LCD, PDP) 太陽電池(solar cell…) 2. 低輻射玻璃(low-E glass) 3. 雙抗鏡片(抗UV, 抗輻射);目前普遍使用在顯示器上的薄膜電晶體有三種分別為: 1.非晶矽薄膜電晶體； 2.低溫多晶矽薄膜電晶體； 3.氧化物半導體薄膜電晶體。;傳統非晶矽、低溫多晶矽與氧化物半導體TFT 的比較;各種製備方式與其優缺點之比較;ZnO- Ga2O3-In2O3(a-IGZO)系統;X-ray diffractions patterns for In-Zn-O films for (a) Ga2O3= 0 and (b) Ga2O3= 6.0 wt%;在2009年Kenichi Inoue等人，利用脈衝雷射沉積，增加IGZO薄膜鋅含量，證實當鋅含量增加時，可強化非晶態IGZO結構之穩定性如下圖所示，但對於氧空缺控制及熱處理參數的選擇上，皆影響水、氧、氫和熱對於IGZO薄膜特性的不穩定。 ;為了使薄膜穩定性較佳，薄膜的組成比例將固定鋅的含量而改變鎵與銦之比例，故使用銦:鎵:鋅=1:1:1、2:2:1、3:3:1，並藉由觀察不同銦與鎵之含量，探討其非晶薄膜結構與光學性質。;研究動機;*;實驗結果-TF-XRD分析;未來目標;Thank you for your attention