定日镜面形精度检测中的三坐标扫描系统的精度分析.pdfVIP

第35卷第5期 2009 年 9 月 到己带拿玩水 OPTICAL 丁t口剧IQt? Vo1. 35 No.5 理 2∞9 文章编号: 1∞2-1582(2侃)9)05-0751-03 定日镜面形精度检测中的三坐标 扫描系统的精度分析. 许文斌13，卢振武1 ，张红鑫l (1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 13∞33; 2. 中国科学院研究生院，北京 10∞39) 摘 要 z 塔式太阳能热发电站的定日镜丽形精度以法线误差来描述，在采用激光束偏转扫描方法检测时，为达到要 求的检测精度，需结合光学测头的性能对三坐标扫描系统提出相应的精度要求。通过对扫描过程的建模，定量分析了三 坐标系统的精度对测量结果的影响，为合理地选择三坐标系统的精度指标提供依据。 关键词:定日镜:精度分析;法线 申回分类号:在-1706 文献标识码:A Accuracy analysis of coordinate measuring machine for the surface shape measurement of heliωtats XU Wen-bin 1 ,2 , LU Z阳仲毗J1 ， ZHANG Hong-xin1 (1. α四19chW1 Institute of 句阳， Fine Mechanics and Physi囚， Chin四Academyof 缸阳帽， α四19ChWl 130033. China) (2. Graduate Schc对 of theαúneseAωdemy of Scien睛，Beijing 100039. China) Ahstract: The surface 如.pe accuracy of heliostats in the 国，Iar由ermal 归wer plant 臼 d田αibed by the errors of normal lines. A8 for 由e Iaser deflectometry rneth:xI., the配uracy 每回I?cat?ons of Coordinate M阻lI?t略Macl由四 (CMM) 酣阳d协 W缸ùin 创由 ωmeet the incr田sing r，饲曲回回臼 of pr回sion detecti∞， oombining with the 防rformance of opti咀1 probe. By modeling the scanning 严肌圃. the influen优 ofa优uracy 鸣:ecifi四tionsofCMM ∞ the det，回阳 results is ana}yzE菇， which 阴。- vid田 a basis for reasonably det回niniI喀出e areuracy ind四面 ofCMM. Keywon:部: heli?tat; accuracy anal同s; 缸贸rnallir四 。引言 太阳能热发电在国家大能源战略中占有重要的 地位，中国科学院和科技部十一五期间在北京建立 1MW太阳能塔式热发电示施电站，为我国太阳能热 发电电站提供关键技术、材料和工艺。从技术角度来 看，太阳能热发电的关键过程包括对太阳辐射进行高 密度聚集和热能存错。定日镜是将太阳辐射聚集到 吸热塔上的能量聚集装置[13] ，起到对太阳辐射进 行高密度聚集的作用，是塔式电站的最关键的部件， 直接影响太阳辐射收集效率，并且占电站戚本的 50%以上，因此，定日镜面形的静态制造误差的检测 是塔式太阳能热发电站的关键性技术之一。 定日镜是优质玻璃反射镜连接在金属杆件或玻 璃钢模具基材上构成的大型反射镜，其面形的轮廓 误差在微米量级，并且由于距吸热器数百米，面形高 1~对聚光精度影响远远小于西形法线误差的影响。 所以，用定日镜的反射面法线方向误差表征定日镜 面形误差是最为直接和合理的[3--S)。在此项目中 对定日镜检测精度提出的指标为 1mrad。 1 定日镜面形的激光束扫描检测原理及建 模 1. 1 检测原理 为检测定日镜面形精度，基于激光束偏转测角 原理我们研制了结合三坐标扫描平台的面形检测仪 器[6] 。如图 1 所示，定日镜面形精度测量头与高精 度三坐标平台结合，测量头安装在三坐标系统的 Z 轴上，光轴方向与 Z轴平行。在扫描过程中测量头 沿 XY 两轴运动，驱动测头按规划好的路径在 XY 平面内扫描定日镜表面，测头将光束沿光轴方向投 射向被测表面，利用光束在 f-6 透镜的像面投射 高度与入射角成线性关系对定日镜反射的激光束与 测头光轴的偏角进行测量，反求出走日镜的法线相 ·收稿日期:2∞8-12-23 E-mall: lU_wen_恤.cion甲@yahoo. can. cn