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* 柔性薄膜电子器件设计制备与集成技术 * 内容提纲 一、需求与应用 二、面临的技术挑战 三、国内的情况和研究条件 工业需求 个人需求 过去 现在 未来 PNAS 106, 10875 (2009). Science 327, 1603 (2010). 生物集成需求 可延展柔性化是微电子器件的革命性发展方向 * 现在 未来采用柔性电子技术 新生婴儿护理与健康监测 Ann. Rev. Biomed. Eng. 14, 113 (2012). 电子器件可伸展柔性的重要意义 有机柔性电子器件的电学性能发展瓶颈 * 有机太阳能电池能量转换效率8.3%； 无机太阳能电池能量转换效率41.1% (美国National Energy Renewable Laboratory) 蓝光有机LED外部量子效率为4.8%，使用寿命小于15000小时； 蓝光无机LED外部量子效率达到60%，使用寿命达到50000小时以上 （Kim等2010年报道） 有机电子器件的电学性能与无机电子器件相比，相差数倍 不能利用有机半导体实现高频高速特性！ 无机电子器件可伸展柔性的重要意义 * 可供生物集成电子器件的半导体材料 碳纳米管: 高的电子迁移率, 比较稳定 高温生长, 电异质性 0.1 1 10 100 1,000 10,000 聚合物: 溶液处理工艺 性能较差 小分子材料: 性能接近于a-Si 真空沉积