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1 使用 Calibre xRC 实现 RFCMOS 电路的寄生参量提取 及后仿真 中国科学院微电子研究所 郭慧民 [摘要] Calibre xRC 是 Mentor Graphics 公司用于寄生参量提取的工具，其强大的 功能和良好的易用性使其得到业界的广泛认可。本文以采用 RFCMOS 工艺实现的 LNA 为例，介绍使用 Calibre xRC 对 RFCMOS 电路寄生参量提取，以 Calibreview 形式输出以及在 Virtuoso 的 ADE 中直接后仿真的流程。本文还将讨论 Calibre xRC 特有的 XCELL 方式对包含 RF 器件的电路仿真结果的影响。 采用 Calibre xRC 提取寄生参量 采用 RFCMOS 工艺设计低噪声放大器(LNA)，其电路图如图 1所示，版图如图 2所示。 图 1 LNA 的电路图 2 图 2 LNA 的版图 Calibre 支持将其快捷方式嵌入在 Virtuoso 平台中。用户只需在自 己.cdsinit 文件中加入以下一行语句： load( strcat( getShellEnvVar(MGC_HOME) /lib/calibre.skl )) 就可以在 virtuoso 的菜单中出现“calibre”一项，包含如下菜单： 点击 Run PEX，启动 Calibre xRC 的 GUI，如图 3 所示。Outputs 菜单中的 Extraction Type 里，第一项通常选择 Transistor Level 或 Gate Level，分别 代表晶体管级提取和门级提取。第二项可以选择 R+C+CC，R+C，R，C+CC，其中 R 代表寄生电阻，C 代表本征寄生电容，CC 代表耦合电容。第三项可以选择 No Inductance，L 或 L+M，分别代表不提取电感，只提取自感和提取自感与互感。 这些设置由电路图的规模和提取的精度而定。 在 Format 一栏中，可以选择 SPECTRE，ELDO，HSPICE 等网表形式，也可以 3 选择 Calibre xRC 提供的 CALIBREVIEW 形式。本文中选择 CALIBREVIEW 形式。Use Names From 可以根据需要选择 SCHEMATIC 或 LAYOUT。 图 3 PEX 的 GUI 界面 设置完毕后，点击 Run PEX，开始寄生参量提取。通常，Calibre xRC 先执 行 LVS，之后提取寄生参量，最后将电路图中的原有的器件和提取出的寄生电容， 电阻和电感反馈到一新生成的带寄生信息的电路图中。PEX 完成后，弹出如下对 话框： 图 4 Calibre View 设置界面 其中，Output Library 表示输出新生成的电路图的 library，通常选为提取 4 寄生参量前的 schematic 和 symbol 所在的 library 即可。Calibre View Type 代表新生成的 schematic 的 View 形式，可以取任意名字，只要不与已有的 view name 重复即可。比如，取做 calibre_r，calibre_rc 或 calibre_rcc，以分别代 表不同的提取形式，本文中直接取成 calibre。Cellmap File 是描述寄生参量提 取前后器件对应关系的文件，默认的是./calview.cellmap，即 Virtuoso 启动目 录下的 calview.cellmap 文件。如果是第一次提取，需要按下面步骤配置这个文 件。其他选项默认即可。 点击 OK，即开始配置 calview.cellmap 文件，首先弹出如图 5 左所示对话 框： 图 5 设置 calview.cellmap 文件的对话框 这个对话框用来配置在新生成的带有寄生参量的电路图中的器件所对应的 library，cell 和 view。本文中名为 nmos_rfw5 与 foundry 的 PDK 中提供的 rfnmos2v5w 的 symbol 相对应。点击 Auto Map Pins，将自动出现 Pin Map。如 果不能自动匹配，通常是由于 layout 提取出的器件的 pin 的个数和 symbol 中 pin 的个数不一致，可以通过修改 rule 文件使其 pin 的数目一致。这样新生成 的带寄生参量的电路图中将以这个 symbol 代表这个器件。其他的器件依此类推。 最后要确定提出的寄生电容和寄生电阻的符号，通常采用 analogLib 中的 cap 和 res 即可，如图 5右所示。 全部器件设置完成后，在所选的 Output Li