2.3电池制造工艺扩散探究.ppt

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2017-04-21 发布于湖北
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扩散;什么是结？;什么是扩散？;扩散的发生条件？;结的扩散形成;什么是同型掺杂？;NP结与PN结？;扩散的工艺目的？;什么是横向扩散？;扩散工艺步骤;淀积工艺的影响因素？;扩散源的选择？;推进氧化的目的？;推进氧化的影响;太阳电池工艺中的扩散;扩散的目的：形成PN结;扩散装置示意图;影响扩散的因素;太阳电池磷扩散方法;POCl3 的特性;POCl3磷扩散原理;由上一页的反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下：生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。;POCl3含氧扩散原???？;磷扩散工艺过程？;清洗;饱和;装片;送片;回温;扩散;关源，退舟;卸片