现代电子显微第一章电子光学基础课件.ppt

CC—色差系数； ?E/E —电子束能量变化率，取决于加速电压的稳定性 和电子穿过样品时发生非弹性散射的程度 稳定加速电压和透镜电流可减小色差。 将散焦斑的半径折算到原物面的半径ΔrC: 稳定度达2X10-6 色差系数和球差系数均随透镜激磁电流的增大而减小。 1.4.4 电磁透镜的分辨率 电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差来决定。 （1） 已知衍射效应对分辨率的影响 ∵ α很小通常10-2～10-3rad （1） （2）像差对分辨的影响 球差： 像散： 用消像散器 色差： 稳定电源 像差决定的分辨率主要是由球差决定的。 存在一个最佳孔径半角 令 即 代入（1）得电磁透镜的分辨率为 另一种解释： 1.5 电磁透镜的景深和焦长 1.5.1 景深 任何样品都有一定厚度。 理论上，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面相重合，像平面上获得该层平面的理想图像。偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，从而在像平面上产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。 如果失焦园斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜分辨率不会产生影响。 景深是当像平面固定时(像距不变),能维持物像清晰的范围内,允许物平面(样品)沿透镜主轴移动的最大距离Df。 取 Δr0=1 nm, ?=10-2～10-3rad 则 Df = 200～200nm 试样一般厚200～300nm，上述景深范围可保证样品整个厚度范围内各个结构细节都清晰可见。 1.5.2 焦长 固定样品（物距不变），象平面沿透镜主轴移动时仍能保持物像清晰的距离范围，用DL表示。 透镜焦距、物距一定，像平面在一定的轴向距离内移动，产生失焦圆斑。若失焦圆斑不超过透镜衍射和像差引起的散焦斑，则对透镜的分辨率没有影响。 若分辨率Δr0， 则 ∵ ∴ 取 Δr0=1 nm, α=10-2rad 若 M=200， DL=8 mm 若 M=20000，DL=80 cm 只要在荧光屏上图象聚焦清晰，在荧光屏上或下十几厘米放置照相底片，均可得清晰图象。 电子波有何特征?与可见光有何异同? 分析电磁透镜对电子波的聚焦原理，说明电磁透镜的结构对聚焦能力的影响。 电磁透镜的像差是怎样产生的?如何来消除和减少像差? 说明影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素是什么?如何提高电磁透镜的分辨率？ 电磁透镜景深和焦长主要受哪些因素影响?说明电磁透镜的景深大、焦长长，是什么因素影响的结果？假设电磁透镜没有像差，也没有衍射埃利斑，即分辨率极高，此时它的景深和焦长如何? 思考 题 * * * 1.3.1 电子在静电场中的运动和静电透镜 1. 电子在静电场中的运动 电子在静电场中受到电场力的作用将产生加速度。初速度为0的自由电子从零电位到达V电位时，电子的运动速度v为： 加速电压的大小决定了电子运动的速度 电子束在电位分界面（等电位面）的折射 与光的折射现象十分相似 当电子从低电位区V1进入高电位区V2时，有折射角，也即电子的运动轨迹趋向于法线。反之电子的轨迹将离开法线。 2. 静电透镜 一定形状的等电位曲面簇可以使电子束聚焦成像。产生这种旋转对称等电位曲面簇的电极装置即为静电透镜。有二极式和三极式之分。 三极式静电透镜等电位面(a) 电子轨迹示意图(b) 短线圈磁透镜（最简单的磁透镜） 1.3.2电子在磁场中的运动和电磁透镜 洛仑磁力 通电的短线圈，产生轴对称的不均匀分布磁场 对正电荷在磁场中运动时受到磁场的作用力为： 式中，q-运动正电荷 v-正电荷运动速度 B-正电荷所在位置磁感应强度，与磁场强度H关系：B = ?H F力的方向垂直于电荷运动速度和磁感应强度所决定的平面，按矢量叉积V?B的左手法则来确定。 V//B，fe = 0, 电子在磁场中不受磁场力，运动速度大小和方向不变； V┴B，fe = fmax，电子在与磁场垂直的平面内作匀速圆周运动； V与B成θ角，电子在磁场内作螺旋运动； 在轴对称的磁场中，电子在磁场内作螺旋近轴运动。 对电子而言，其带负电荷，F方向由B?V决定，其运动方式有如下几种情形： （a）磁力线上任一点的磁感应强度B可分解为平行于透镜主轴的分量BZ和垂直于透镜主轴的分量Br （b）电子所受切向力Ft和径向力Fr （c）电子作圆锥螺旋近轴运动 （d）电子束通过磁透镜的聚焦 （e）光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光聚焦 电子运动轨迹示意图 产生电子 电子运动电场 聚光镜聚焦 照射样品 电磁透镜 静电透镜 1.3.3