奈米与微制程实验训练班-清大奈材中心-清华大学.doc

PAGE  PAGE 8 清華大學 奈微與材料科技中心 寒假 奈米與微製程「實驗訓練班」 報名地點：清華大學 工程三館106R 日期：101年02月13日～101年02月17日 ◎課程目的： 為增進學生與研究人員在奈米與微製程實驗方面之實務經驗，本中心規劃相關實驗訓練課程，做為進入本中心共用無塵室進行研究之基礎訓練課程，以進一步提昇學生與研究人員之研究能力。 ◎課程特色： 1. 師資陣容堅強：技術理論方面委由本中心博士級研究員專業授課，而實驗訓練課程由操作機台設備經驗豐富之技術員來指導授課。 2. 課程內容完整： 技術訓練課程： 加強受訓者之無塵室奈米與微製程相關知識及基礎技能； 實驗訓練課程： 包括P- Channel Metal Oxide Semiconductor (PMOS)製程影帶教學，並實地訓練標準清洗、物理氣相沉積、微影、化學氣相沉積等相關實驗。 3. 課程方案彈性：目前課程規劃含以下三種方案，受訓者可依自身情況做選擇。 「技術訓練課程」+「實驗訓練課程」 單修「實驗訓練課程」(修習過附件一課程者，可免上本中心「技術訓練課程」，直接報名參加「實驗訓練課程」，結訓後，始能申請進行「製程技術機台儀器訓練」。) 修習過附件二課程，則無須參加「技術訓練課程」與「實驗訓練課程」，可申請進行「製程技術機台儀器訓練」。 4. 可抵免NDL之訓練課程：修習過本實驗訓練班課程者，可直接申請參加NDL製程技術機台儀器訓練，而無需參加NDL之「SM01半導體製程技術訓練班」及「SM01-1半導體製程設備見習班」課程。 一、技術訓練課程 課 程 名 稱日 期時 間授課講員標準清洗與高溫氧化101年02月13日（一）08：00 ～ 12：00岑 尚 仁化學氣相沉積製程（CVD）101年02月13日（一）13：00 ～ 18：00林俊榮微影暨接合製程101年02月14日（二）08：00 ～ 12：00岑 尚 仁蝕刻製程101年02月14日（二）13：00 ～ 18：00連 羿 韋擴散製程101年02月15日（三）08：00 ～ 12：00岑 尚 仁物理氣相沉積製程（PVD）101年02月15日（三）13：00 ～ 18：00李 薇 妮二、實驗訓練課程 實 驗 名 稱日 期時 間授課講員PMOS製程 影帶觀摩與解說101年02月16日（四）9：30～12：00中心研究助理(實地解說及影帶觀摩)標準清洗101年02月16日（四）14：00～18：00張瀞文 曾昱承 吳若穎物理氣相沉積實驗101年02月16日（四）郭文鳳微影製程101年02月17日（五）09：00～12：00曾昱承 吳若穎化學氣相沉積實驗101年02月17日（五）張瀞文 郭文鳳無塵室機台介紹影片101年02月17日（五）14：00～15：00曾昱承考試101年02月17日（五）15：30～17：30劉湘雅 三、費用 四校（清、交、中央、陽明）學界業界注意事項方案一技術訓練課程+實驗訓練課程5,000元/人5,500元/人8,500元/人同一實驗室或公司2人以上報名者，每人各減500元。方案二實驗訓練課程2,000元/人2,500元/人5,500元/人需修習過附件一課程四、對象與注意事項 對奈米／微機電系統領域有興趣之學生、學界及業界人士。 出席率達八成且測驗成績高於70分者，本中心將發予修課證書。 本課程報名者若未滿十人，本中心將延後開課日期，待報滿十人後，再另訂開課日期。 報名表收件截止日：101年2月06日（額滿即提前截止）。 五、報名與繳費辦法 填寫報名表，請單位主管或指導教授簽名，送至本中心。 由於名額有限，請務必在繳交報名表時，同時完成繳費（以現金方式繳費再開立收據）。 於開課前7天內（含假日）取消報名者概不退費，其餘酌收1/4報名費為行政處理費。故在報名時，請務必審慎考量，斟酌行事。 六、聯絡方式 聯絡人：劉湘雅小姐 電話：(03) 574-2267 傳真：(03) 5713-484 E-mail：syliou@mx.nthu.edu.tw 附件一 (99.6.30修訂版) 修習過以下課程者，可免上本中心「技術訓練課程」，直接報名參加「實驗訓練課程」，結訓後，始能申請製程技術機台儀器訓練 開課單位課程名稱(1)國立交通大學材料所半導體製程、微電子積體電路製程 (2)國立交通大學光電系所半導體物理與技術(一、二)、半導體物理、半導體元件及物理、微元件光學、光電子學(一、二) (3