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Track 工艺设备培训资料;Glossary ( before you read this article );;1. ExcelinerTM 1800设备简介;;SCR的参数： Air curtain 高度 8±1mm Brush 转速：300-400rpm Brush 可在0-5mm范围上下调整。 BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压。 Brush 上方Rinse：72±3mm 下部Spray距离上方：73mm Air knife：35° / heigh(gap):2-3mm(2.5±0.5mm) ;;① SCR;① SCR;SCR的排气部分;;② OVEN：Heat Bake;② OVEN：Col;Coater的结构：;;③ SLIT COATER;Head：;③ SLIT COATER;Obstruction detection unit:;③ SLIT COATER;Head wash unit: ;Panel damage detection unit: ;Coater chemical lines:;Coater机的状态间的切换;DP 的结构（单层）：;④ DP;BOE HE 将使用的DP有双层chamber,轮流使用。保证Tact time(110/2=55s);DEV 单元：;⑤ DEV;⑤ DEV;;2. ExcelinerTM 1