在TFT-LCD_工艺制程学案.docVIP

上海天马微电子有限公司企业标准 TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称 Q/S0001-2007 第 PAGE \* MERGEFORMAT 23页共 SECTIONPAGES \* MERGEFORMAT 23页 Q/S 上海天马微电子有限公司企业标准 Q/S0001-2007 TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称  版 号： 1.0 总 页 数：  SECTIONPAGES \* MERGEFORMAT 23 制定部门： 制造部 生效日期： 2007年4月28日 拟 制： 方永学 2007-4-3 审 核： 向传义 2007-4-3 标 准 化： 吴乃亮 2007-4-25