X 射线菲涅耳波带板成像和投影式相衬成像的数值模拟比较.pdfVIP

1 0200 1-1 第 28 卷第 1 0 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol.28,No.10 201 6 年 1 0 月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Oct.,201 6 X 射线菲涅耳波带板成像和投影式 相衬成像的数值模拟比较 * 袁亚运,王晓方 (中国科学技术大学 近代物理系,合肥 2 3002 6) 摘 要: 通过解析分析和数值模拟,比较了钛 Kα线(4.5 keV)与铜 Kα线(8.0 keV)等 X 射线源背光透 视物体情况下,菲涅耳波带板直接成像与投影式相衬成像对被透视物体的空间分辨能力。结果表明,波带板成 像可实现优于 1 μm 的高空间分辨能力,而且使用较大尺度背光源更有利于成像。对于高透射或弱吸收的透 视物体,波带板难以成像,可采用投影式相衬成像实现μm 级空间分辨。计入了以前文献没有考虑到的更高阶 影响后,解析给出了点光源照射下相衬像的强度分布与对比度。模拟了微焦点 X 射线源照射存在厚度起伏的 薄膜靶以及密度空间调制靶的相衬成像,点光源情况下模拟结果和解析结果相符。讨论了光源大小、成像距离 等参数对相衬成像对比度和空间分辨能力的影响,结果表明,通过减小光源尺度和调节物体到探测面的距离, 空间分辨能力可优化到 1~4 μm。 关键词: X 射线成像; 菲涅耳波带板; 相衬成像 中图分类号: O434 文献标志码: A doi:10.1 1 884/HPLPB20 1 628.1 5062 7 激光驱动的惯性约束聚变使用激光或 X 射线烧蚀聚变靶丸,向心压缩产生超高密度等离子体[1]。在压缩 过程中,烧蚀层或燃料层及其界面易出现等离子体流体力学不稳定性,从而降低压缩效率。这对靶制作提出了 要求,例如烧蚀层和燃料层界面的粗糙度的均方差根小于 1 μm[1-2]。实验上为了诊断这类制作缺陷,常采用 X 射线背光照相[3-4],成像的空间分辨能力要求 1~2 μm 或更好。高空间分辨 X 射线成像也可用于诊断烧蚀区 的密度空间梯度和等离子体流体力学不稳定性等。 目前实验中常使用 KB 显微镜进行高分辨 X 射线成像。理论上 KB 镜的空间分辨能力可达到 1 μm 或更 好,但是受到元件表面加工精度不够和掠入射像散等限制,实际获得的最好空间分辨能力为 2~3 μm[5-6]。而 基于半波带原理设计的菲涅耳波带板(FZP),能实现接近衍射极限的聚焦与高空间分辨能力[7-8],实验已达到 约 1 0 nm[8]。因此,FZP 成像为高分辨 X 射线成像诊断靶丸提供了一种可能性[9]。日本大阪大学利用理论分 辨能力为 0.18 μm 的 FZP 在背光照相诊断烧蚀层密度的实验中,分辨能力达到 2.2 μm。虽然讨论了影响分 辨能力下降的部分因素,但没有讨论物体透射性质等因素的影响[10]。物体对 X 射线的折射率可用复数(n=1 -δ+iβ)表示,其中实部变化δ反映了物体对 X 射线相位移动信息,虚部β反映了物体对 X 射线吸收信息。对 于组成烧蚀层和燃料层的轻原子物质(例如,氢、氘、氚、铍、碳等)来说,相应的β非常小,物体对 X 射线表现出 高透射或弱吸收性质,透过率接近 1 00%。而 FZP 成像由于零级和高级衍射形成背景会降低像的对比度[1 1-1 2], 可能难以对这类高透射物质的背光照相进行高分辨、高对比度成像。另一方面,轻原子物质的δ是β的几百到 几千倍,而相衬方法对相位变化具有很高的灵敏度。因此,对于高透射或弱吸收物质来说,相衬方法成像可能 是较好的选择[1 3]。 本文首先给出 X 射线背光源透视物体的情况下,FZP 对物体的直接成像、背光源对物体投影式相衬成像 的原理,并从理论上推导给出了点光源条件下相衬成像的光强分布。然后通过数值模拟比较了 FZP 成像和相 衬成像对几种模型靶的成像,讨论了它们的适用条件。在此基础上模拟了微焦点 X 射线源照射表面存在厚度 起伏的薄膜靶以及密度空间调制靶的相衬成像,讨论了光源大小、成像距离等参数对像的对比度和空间分辨能 力的影响。 * 收稿日期:20 1 5-1 2-2 1; 修订日期:20 1 6-02-25 基金项目:国家自然科学基金项目(1 1 3 7 5 1 94) 作者简介:袁亚运(1989-),男,硕士,从事 X 射线成像研究;yuanyy1 2@mail.ustc.edu.cn。 通信作者:王晓方(19 6 7-),男,教授,从事激光等离子体物理与诊断研究;wang1@ustc.edu.cn。 1 0200 1-2 1 成像原理及分析 1.1 FZP 背光透视成像 FZP 对背光透视物体成像的原理如图 1 所示。可把物体和 FZP 都看成衍射孔径,利用两步衍射可求