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PAGE  PAGE 23 净化的定义 ???????净化(洁净)技术及玷污(微玷污)控制技术，国际上常用玷污控制一词，即对加工或处理对象在加工处理过程中由于玷污物质的存在，影响对象的成功率，而对到达对象表面的玷污物质进行控制后，能提高对象的成功率，此有效控制玷污物质（亦包括加工或处理对象带有对人体有害的玷污物质需进行处理及隔离）的技术。 洁净室等级标准（美国联邦标准209E） 等级≥0.5um尘粒数≥5um尘粒数颗/立方英尺颗/立方英尺颗/立方英尺颗/立方英尺1001003500//100010003500072501000010000350000702500100000100000350000070025000洁净室气流形式及其特点气流形式适用洁净级别优点??点垂直层流 底回风10级,100级1 效果很完全2 运转即成稳定状态3 粉尘堆集及再飘浮极少4 管理容易1 设备造价非常高2 扩展比较困难3 维护费用高垂直层流侧回风10级,100级1 效果完全2 运转即成稳定状态3 粉尘堆集及再飘浮极少4 管理容易1 设备造价非常高2 扩展比较困难3 维护费用高混流方式100级,1000级1 结构比较简单2 效果较好1 造价较高