ESD教育训练讲义范本.ppt

ESD教 育 训 练 教 材电源事业部 工程部; 伴随计算机、通信、集成电路的发展，静电危害问题日趋显著。 如CMOS器件绝缘层的典型厚度0.1um,其相应耐击穿电压为80-100V,VMOS的耐击穿电压只有30V,千兆位的DRAM耐压仅为10-20V。在电子产品的生产、运输、储存等过程中产生的静电压远远大于上述阈值，造成微电子器件击穿或软击穿，使之失效或严重影响产品的可靠性。据报道：因静电问题造成损失，美国100亿美元/年，英国20亿英磅，日本45%微电子子器件损坏，中国10亿人民币/年。 为更好的解决电子工业的静电防护问题，必须普及静电防护的基本知识。;一、静电基本概念 二、电子工业中的静电问题 三、静电防护原理 四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求 五、EPA防静电系统的检验 六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试 ;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;四、防静电工作区（EPA）的构成和技术要求;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;谢谢大家！