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高精度光学自动检测仪快速对焦方法研究程良伦潘健华广东工业大学自动化学院广东广州摘要为提高光学自动检测设备中自动对焦的准确性快速性和稳定性提出一种新型的高精度快速自动对焦该系统利用光学三角法测距原理将会聚到工作台上的激光光斑成像在上再利用光斑灰阶的变化实现精密对焦实验结果表面重复对焦精度可以到对焦时间小于满足工业光学检测系统中实际应用的需要引言目前国内外生产的平板显示屏检测设备都广泛采用数字图像检测技术随着平板检测对精度和速度的要求越来越高自动调焦技术的应用显得越来越重要的自动对焦方法主要有对比度
高精度光学自动检测仪快速对焦方法研究
程良伦 潘健华
(广东工业大学 自动化学院,广东 广州 510006)
摘 要:为提高光学自动检测设备中自动对焦的准确性、快速性和稳定性,提出一种新型的高精度快速自动对焦。该系统利用光学三角法测距原理将会聚到工作台上的激光光斑成像在CCD上,再利用光斑灰阶的变化实现精密对焦。实验结果表面:重复对焦精度可以到0.1um,对焦时间小于200ms,满足工业光学检测系统中实际应用的需要。
optical auto-analyzer
CHENG Liang-Lun PAN Jian-Hua
(Faculty of Automation, Guangdong Un
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