等离子体物理的一些研究前沿及进展.pptVIP

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等离子体物理的一些研究前沿及进展

放电等离子体基础:原理、应用和进展;What is Plasma?;特性I:经典力学和电动力学;特性2:准电中性,德拜屏蔽和Langmuir振荡;特征3:高度热不平衡性;特征4:极高的化学活性;等离子体科学与技术:物理,化学,电气工程和电子工程;等离子体表面处理:微电子平面工艺;etching;鞘和定向刻蚀;PECVD;Plasma Source:Discharge Cavity;典型的低气压等离子体源;What is the problem?;真正的问题是什么?;数值模拟….;数值模拟….;等离子体发动机;转向其他应用:大气压放电;介质阻挡放电;应用:大气压等离子体源;困难和优点;转向深层:脉冲放电和击穿过程;脉冲放电;流注和火花:仍然没有完全理解的问题;电弧和材料处理

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