8215-SHPickandPlaceMachine维修保养手册说课.doc

PAGE  8215-SH Pick and Place Machine维修保养手册 目 录  TOC \o 1-3 \h \z \u  HYPERLINK \l _Toc263928887 第一章、 定期維護計畫  PAGEREF _Toc263928887 \h 1  HYPERLINK \l _Toc263928888 第二章、 一般維護說明  PAGEREF _Toc263928888 \h 3  HYPERLINK \l _Toc263928889 2-1、 8215-SH 主要模組  PAGEREF _Toc263928889 \h 3  HYPERLINK \l _Toc263928890 2-2、 取放頭  PAGEREF _Toc263928890 \h 4  HYPERLINK \l _Toc263928891 2-2-1、 清潔調整X向平台  PAGEREF _Toc263928891 \h 4  HYPERLINK \l _Toc263928892 2-2-2、 清潔調整Z向工作模組  PAGEREF _Toc263928892 \h 5  HYPERLINK \l _Toc263928893 2-2-3、 清潔調整Y向平台  PAGEREF _Toc263928893 \h 6  HYPERLINK \l _Toc263928894 2-3、 頂針座  PAGEREF _Toc263928894 \h 8  HYPERLINK \l _Toc263928895 2-3-1、 清潔頂針帽、頂針  PAGEREF _Toc263928895 \h 8  HYPERLINK \l _Toc263928896 2-3-2、 清潔調整Z向平台  PAGEREF _Toc263928896 \h 8  HYPERLINK \l _Toc263928897 2-4、 晶圓平台  PAGEREF _Toc263928897 \h 10  HYPERLINK \l _Toc263928898 2-4-1、 潤滑調整X向平台機構  PAGEREF _Toc263928898 \h 10  HYPERLINK \l _Toc263928899 2-4-2、 潤滑調整Y向平台機構  PAGEREF _Toc263928899 \h 11  HYPERLINK \l _Toc263928900 2-4-3、 清潔調整擴片機構  PAGEREF _Toc263928900 \h 12  HYPERLINK \l _Toc263928901 2-5、 放置台機構  PAGEREF _Toc263928901 \h 14  HYPERLINK \l _Toc263928902 2-5-1、 潤滑調整X向平台機構  PAGEREF _Toc263928902 \h 14  HYPERLINK \l _Toc263928903 2-5-2、 潤滑調整Y向平台機構  PAGEREF _Toc263928903 \h 15  HYPERLINK \l _Toc263928904 2-6、 光學機構  PAGEREF _Toc263928904 \h 17  HYPERLINK \l _Toc263928905 2-6-1、 撿取影像對位模組  PAGEREF _Toc263928905 \h 17  HYPERLINK \l _Toc263928906 第三章、 錯誤碼參照與簡易故障排除  PAGEREF _Toc263928906 \h 18  HYPERLINK \l _Toc263928907 第四章、 附件清單  PAGEREF _Toc263928907 \h 20  HYPERLINK \l _Toc263928908 4-1、 潤滑油品  PAGEREF _Toc263928908 \h 20  HYPERLINK \l _Toc263928909 4-2、 定期檢修用工具  PAGEREF _Toc263928909 \h 20  HYPERLINK \l _Toc263928910 4-3、 模組對照表  PAGEREF _Toc263928910 \h 20  HYPERLINK \l _Toc263928911 4-4、 耗材表  PAGEREF _Toc263928911 \h 21  HYPERLINK