Array制程.ppt

下载文档 降价啦

42
0
约小于1千字
约 42页
2017-04-22 发布于湖北
举报
版权申诉
保障服务

Array制程.ppt

1、本文档共42页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

Array制程

;;ARRAY製程; PVD: 導電性薄膜 GE工程: gate electrode, (AL) SD工程: source electrode, (Cr) PE工程: pixel electrode, (ITO) CVD: 半導電性薄膜絕緣性薄膜;物質四態;Cathode;黃光製程;正光阻、負光阻;FX-21S Main Body;FX-21S New Exposure Technology;周邊曝光;1蝕刻技術分類;FAB II 蝕刻機斜式搬送;Nozzle噴灑;FAB II 蝕刻機斜式搬送;水平式蝕刻;傾斜式搬送純水用量;剝膜目的;剝膜液的性能;PECVD 簡介; PECVD應用：非晶矽膜 (a-Si);PECVD應用：氮化矽 (Silicon Nitride)SiNx;SiNx;PECVD SiNx:3000A ;乾蝕刻設備基本構造;;;;;;;;;Gate Driver;G1;G1; 1.因TFT元件的動作類似一個開關(Switch)，液晶元件的作用類似一個電容，藉Switch的ON/OFF對電容儲存的電壓值進行更新/保持。 2.SW ON時信號寫入(加入、記錄)在液晶電容上，在以外時間 SW OFF，可防止信號從液晶電容洩漏。 3.在必要時可將保持電容與液晶電容並聯，以改善其保持特性。;Mask 1：GE (Gate電極形成);Mask 2：SE (島狀半導體形成);Mask 3：SD (Source及Drain電極形成);Mask 4：CH (Contact Hole形成);Mask 5：PE (畫素電極形成)