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半导体晶片搬运用机器人SR8220SR8230.PDF
半导体晶片搬运用机器人
SR8220/SR8230
■SR8220/SR8230 特点
z在手柄中以陶瓷材料和碳素材料为基础，同时具备机
械边侧抓取方式
z通过具有突破性的机制和先进运动控制器控制，实现
快速、顺畅的直线动作
z无刷AC伺服系统具备高分辨率绝对编码器，快速且无
需恢复原点实现划时代的处理能力
zMTBF50,000時間の信頼性を確保
■标准做法
SR8220 SR8230
手臂 双手臂 单手臂
自由度 4-AXES 3-AXES
（附带绝对编码器）
动作范围
R轴（第1,2轴手臂） 534mm
Z轴 300mm / 600mm
Θ轴 340deg.
最高速度
R轴（第1,2轴手臂） 5.76rad/sec.
Z轴 450mm/sec.
Θ轴 6.98rad/sec.
往复精度 +/-0.1mm
洁净度 ISO Class 2
本体重量 80kg 60Kg
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日电产三协电子(深圳)有限公司 广东省东莞市石龙镇上塘西路38号
TEL: (86) 769-8611-4520 FAX: (86) 769-8611-6590
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