实验一光学薄膜的制备-副本选编.docx

实验一 光学薄膜的制备 余永刚 电子141 201412040129 实验目的 掌握电子束蒸发镀膜机的使用方法 掌握光学薄膜的制备方法 实验设备与材料 电子束蒸发镀膜机 玻璃基片 SiO2、Ti3O5 实验原理 电子束蒸发镀膜机的工作原理 电子束蒸发镀膜机是一种普适镀膜机，用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜，如图所示。 图ZZ-800电子束蒸发镀膜机 电子束镀膜机构成：电子束镀膜机主要包括真空镀膜室和真空抽气系统。 真空镀膜室包括：电子枪、电阻加热蒸发器、坩埚、挡板、离子源、基板架、电离规、热偶规、石英晶振片等组成； 真空抽气系统主要由扩散泵、罗茨泵、机械泵、阀门等组成。 电子束镀膜机在薄膜制备中的作用：减少蒸发分子跟残余气体分子的碰撞；蒸发分子在行进的路径中，他们中的一部分会被残余气体分子碰撞而散乱]。 电子束镀膜机的性能指标 ZZ-800电子束蒸发镀膜机也有许多的性能及要求，电子束镀膜机要想正常的在规定范围内运转，则需满足下面表格中的规格指标。 表 ZZ-800电子束蒸发镀膜机的规格指标 ZZ-800电子束蒸发镀膜机规格指标电子枪功率 极限真空度 温度 温度变化 坩埚数量 控制系统 真空抽速5-10 KW Pa 300 ℃ ±2 ℃ 8 自动控制和手动控制 3×10-4 Pa/20 min光学薄膜的原理 所谓光学薄膜的原理即镀膜的原理包括很多，其