第9章半导体1气敏课案.pptVIP

第9章 半导体传感器 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏传感器 9.3 色敏传感器 9.4 半导体传感器的应用; ; ; ; ; ; 非电阻型半导体气敏元件是利用其它参数， 如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。 ;表9-1 半导体气敏元件的分类 ; ; ; 气敏传感器主要用于工业上的天然气、煤气，石油化工等部门的易燃、易爆、有毒等有害气体的监测、预报和自动控制。 ; ; 被吸附的分子首先在表面自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉， 另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。 当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力(气体的吸附和渗透特性)时，吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。; 例如氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接???性气体。 如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。 具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给型气体。; 当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附到P型半导体上时，