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CT厂进气过滤方式剖析
CT廠進氣過濾方式分析報告; 1.1問題現象:
1.目前大園廠生產的過程中,置放的holding time在4小
時內即發生盲孔孔底發黑或發藍, 造成盲孔浮離的現
象。
2.空氣過濾處理之效率及需求無法量化。
1.2經過分析的問題點:
1.初步判定外氣含有化學污染物質,如下表:
; 根據以上量測值懷疑空氣中的化學污染物質即為造成板子
盲孔孔底發黑或發藍的現象。
;;
二.理念政策:廠內的空氣品質需合乎作業製程品質、
人員健康的需求。
三.期望(未來是什麼):
3.1藉由比較各種過濾方式及設計,取得最適宜的
方法來改善空氣品質,使板子在8小時之holding
time內仍不致發生盲孔孔底有發黑、發藍的情
形。
3.2藉由長期(3個月)來觀察:以懸掛之測試裸銅片
(station monitor)之氧化程度 來取代過濾效率
的量化指標。;四.差異分析及改善措施提出(Gap Root Cause Solution)
a.期望與問題點的差異(Gap)
a.1對於含有化學污染物之進氣,沒有建立經濟有效的處理方式。
a.2對於濾材之效率未作量化以及更換週期的制定沒有明確的指標。
b.差異分析(Root Cause)
b.1過去對廠房進氣,僅考慮過濾塵埃顆粒大小之十萬級控制,而空氣中的一些
化學污染物,並未作處理 。
b.2廠內作業環境空氣品質需求基準未能明確;並對濾材選用的knowledge仍
嫌不足。
c.改善措施提出(Solution)
c.1進氣各種處理方式的評估及活性碳過濾處理的設計原則。
c.2過濾效果評估實驗計劃(保養頻率及標準化制定)。
;;;4.2;4.4目前CM、CT之現況檢討與費用預估;9;;;軟管;8;9;8;7;;;;進氣空調箱說明圖(含有Air Washer)
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