传感器与检测技术第四章节.pptVIP

第四章 电容传感器;4.2 电容式传感器的测量转换电路;知识目标： （1）了解电容式传感器的分类及特点。 （2）掌握电容式传感器的工作原理及测量转换电路。 （3）熟悉电容式传感器在工程上的应用。;情感目标： （1）养成良好的工作责任心、坚强的意志力和严谨的工作作风。 （2）培养良好的合作精神、创新精神和竞争意识。;4.1 电容式传感器的工作原理; 改变A、d、? 三个参量中的任意一个量，均可使平板电容的电容量C 改变。固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器。 ;4.1.1变面积式电容传感器;（b）直线位移式电容传感器 ; 变面积式电容传感器的输出特性是线性的，灵敏度是常数。这一类传感器多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。 请画出变面积式电容传感器的输出特性曲线！;4.1.2变极距式电容传感器;变极距式电容传感器的特性曲线;图4-5 两极板间采用云母片作为介质的电容;图4-6 差动平板式电容传感器原理图 ;差动的好处;4.1.3变介电常数式电容传感器;变介电常数式电容传感器的用途;4.2 电容式传感器的测量转换电路;2.差动桥式电路;4.2.2调频电路;;当被测信号为零时，调频振荡器的固有频率（一般应选在1 MHz以下）为;用调频系统作为电容式传感器的测量转换电路主要有以下特点：;4.2.3 运算放大器电路;由运算放大器电路的工作原理可得 ;4.2.4 二极管双T形电桥电路;若C1或C2变化，则在一周期内流过RL的平均电流不为零，因此，有电压信号输出，输出电压在一个周期内的平均值为 ;4.3 电容式传感器的应用;图4-12 电容测厚仪的工作原理 1—扎轮； 2—定极板； 3—被测金属带材； 4—导向轮;在被测金属带材3的上下两侧各放置一块面积相等、与带材距离相等的定极板2，这样定极板2与被测金属带材3之间就形成了两个电容C1和C2。把两块极板用导线连接起来就相当于C1与C2并联，总电容为C1+C2。如果被测金属带材3的厚度发生变化，则引起电容量的变化，用测量转换电路将电容的变化检测出来，经过放大即可由电表显示测量结果。;图4-13 差动电容式压力传感器的结构图 ; （a） （b） 图4-14 电容式加速度传感器的结构示意图 ;硅微加工加速度传感器;硅微加工加速度传感器原理 ; 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结 构。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C1、C2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相当于悬臂梁。 当它感受到上下振动时，C1、C2呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC 转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达1 kHz以上，允许加速度范围可达10 g 以上。 如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就可以测量三维方向的振动或加速度。;加速度传感器在汽车中的应用 ;汽车气囊对驾驶员的保护作用;机械式油量表：;电容式油量表;图4-17 圆柱形电容式接近开关的结构示意图 1—检测电极； 2—充填树脂； 3—测量转换电路； 4—塑料外壳；5—灵敏度调节电位器； 6—工作指示灯； 7—信号电缆 ;2.电容式接近开关的工作原理;电容式接近开关外形;非齐平式接近开关的安装;全密封防水式;3.电容式接近开关的应用;2）接近报警器;谢 谢