UV紫外线灯及其在LCD制造过程中的作用.docVIP

UV 紫外线灯及其在 LCD 制造过程中的作用 汕头超声显示器有限公司 黄 树 波 2003-4-4 11:26:50 摘要：UV 紫外线光是一种不可见光，它广泛应用于医疗、电子等行业，在半导体行业特别是 LCD 行业更是得到大量的使用。本文从多方面论述 UV 紫外线光在 LCD 的整个制造过程中的作用及 其控制点，讲明如何充分利用紫外线光为提高 LCD 的制造水平和产品质量服务。 关键词：紫外线，紫外线光，LCD，清洗，光刻，固化，UV 固化胶，APR 胶版，接触角，光能 量。 一、紫外线 紫外线光是一种波长范围为 1360×10-10m~3900×10-10m 的不可见光线。按波长范围可分为 A、 B、C 三波段和真空紫外线：①A 波段 320nm~400nm；②B 波段 275~320nm；③C 波段 200nm~275nm；④V 波段---真空紫外线 100~200nm。各种波长范围的紫外线光的作用是不同 的，有些是用来杀菌的、有些是用来清洗的、有些是用来光刻的、有些是用来固化的。紫外线灯 按照启动与工作方式可以分为瞬间启动型、冷阴极型、热阴极型，而对于同样耗电的情况，瞬间 启动型的照射功率最强。另外，灯的照射功率还随周围及管壁的温度而变化，因此必须控制好紫 外线灯周围及管壁的温度，以使紫外灯发挥最佳的效果。 二、LCD 制造过程中 UV 紫外线的作用 在整个液晶显示器 LCD 的制造过程中，可以说离不开紫外线光，没有紫外线光的使用，液晶显 示器就无法进行生产。下面将对其在 LCD 生产过程中所起的作用进行详述。 1、在光刻方面： （1）、图形制作：利用 365~405nm 波长（A 波段）的紫外线光对涂有光刻胶的 ITO 玻璃进行 一定时间的照射后，由于光刻胶吸收了一定的光能量，发生了光化学反应，使光刻胶的性能发生 改变，受光部分经过显影液能溶解掉，露出 ITO 膜，然后用蚀刻液将露出的 ITO 膜蚀刻掉，从 而得到与掩模版完全一致的 ITO 图形。 （2）、取向膜涂覆版的制作： 取向膜涂覆版通常称为 APR 胶版，其结构如下： 下面是一层橡胶基板，基板上有一层一定厚度的感光材料，上、下贴附一层塑料保护膜。 制版前先将 APR 版的上、下保护膜撕掉，将菲林版贴在 APR 胶版的感光材料面上，并使用真空 吸附的方法将菲林与 APR 胶版紧紧贴合在一起，然后利用 365nm 波长的紫外光进行一定时间的 照射。由于紫外光的作用，受紫外光照射的感光材料层发生变化，当用特定的冲洗液进行冲洗后， 没受感光部分的感光材料就被洗出，从而制作出 APR 胶版。 2、光固化方面: （1）、UV 固化胶的固化 光固化目前主要是在液晶显示器的后制程中得到广泛应用，用于液晶盒的封口和固定 PIN 管脚。 这主要是利用紫外线光照射紫外固化胶，使胶发生化学交联和聚合作用，达到固化，从而形成牢 固的封口及将 PIN 管脚牢固地固定。目前使用的紫外光波长主要是 365nm。由于 UV 固化胶具 有固化时间快、接着力强、耐热、耐湿等优点，目前已经推广应用到前制程的封边框上。 （2）、TOP 的 UV 固化 在 STN-ITO 玻璃上涂覆绝缘膜 SiTi 并进行预固化后，TOP 层的物质形态为以离子形式存在的层 状疏松结构，硬度很低。采用 UV 固化装置对 ITO 玻璃上的绝缘膜 TOP 层进行良好的紫外光照 射，使绝缘膜上含有的聚合体、单体、光聚合剂等感光性材料吸收了高能量的紫外光后，发生 光集合交联反应，使离子之间发生交联，TOP 层的物质形态变成网状紧密结构，再经过后固化 后，其硬度就大大增加，达到降低后固化的温度和提高表面硬度的目的。 3、光清洗与光改质 （1）UV 光清洗 在液晶显示器的制造过程中，对 ITO 玻璃上的洁净度要求是非常之高的，要生产线间距和线宽为 10μm 的产品，并且保证成品率，对曝光前的涂膜要求是相当之高。要提高涂膜的效果，首先要 保证玻璃是洁净的。在以往的清洗技术（化学清洗和物理清洗）中，经常很难达到这种洁净度要 求。如何提高玻璃表面的洁净度，提高敷膜的效果呢？目前国外得到广泛使用的是 UV 紫外光清 洗，它一方面能避免由于使用有机溶剂造成的污染，同时能够将清洗过程缩短。其工作原理是利 用紫外光子对有机物质所起的光敏氧化作用以达到清洗粘附在物体表面上的有机化合物（碳氢化 合物）的目的。在实际应用中，通常是利用一种能产生两种波长的紫外灯，这种 UV 灯能够产生 波长为 254nm、185nm 的紫外光（通常 185nm 波长的仅为 254nm 波长光的 20%）。其工作过 程是：大多数有机化合物对其中 254nm 波长的紫外光有较强的吸收能力，它们在吸收了紫外光 之后，分解为离子、游离态原子、受激分子和中性分子，这即光敏作用